[发明专利]一种镀膜载板运输系统在审
申请号: | 202211024679.9 | 申请日: | 2022-08-25 |
公开(公告)号: | CN115394697A | 公开(公告)日: | 2022-11-25 |
发明(设计)人: | 申曌奉;徐文涛;陈晨;周剑;路坤 | 申请(专利权)人: | 苏州迈为科技股份有限公司;苏州迈正科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L31/18;C23C14/56 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 陈宏 |
地址: | 215200 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 镀膜 运输 系统 | ||
1.一种镀膜载板运输系统,其特征在于,包括:
行走轨道(1);
周转行走装置(2),所述周转行走装置(2)可活动地设在所述行走轨道(1)上,所述周转行走装置(2)为沿所述行走轨道(1)的长度方向上设置,所述周转行走装置(2)用于装载镀膜载板,所述周转行走装置(2)包括:
周转小车(21),所述周转小车(21)可活动地设在所述行走轨道(1)上,所述周转小车(21)用于装载所述镀膜载板;
周转驱动模组(22),所述周转驱动模组(22)与所述周转小车(21)配合以驱动所述周转小车(21)沿所述行走轨道(1)的长度方向运动。
2.根据权利要求1所述的镀膜载板运输系统,其特征在于,所述周转驱动模组(22)包括:
第一周转驱动源(221),所述第一周转驱动源(221)与传动框架(4)固定连接;
传动带组件,所述传动带组件包括第一周转传动轮(2221)、第二周转传动轮(2222)以及周转传动带(2223),所述第一周转传动轮(2221)与所述第一周转驱动源(221)传动配合,所述周转传动带(2223)的两端分别绕过所述第一周转传动轮(2221)和所述第二周转传动轮(2222)后与所述周转小车(21)固定相连。
3.根据权利要求2所述的镀膜载板运输系统,其特征在于,所述传动带组件为多个,多个所述传动带组件沿与所述行走轨道(1)垂直的方向间隔设置;所述周转驱动模组(22)还包括第一周转支撑块(225)、第二周转支撑块(226)、第一周转传动轴(227)和第二周转传动轴(228),多个所述第一周转支撑块(225)连接在所述传动框架(4)上,所述第一周转传动轴(227)穿设在多个所述第一周转支撑块(225)上且与多个所述第一周转传动轮(2221)配合,所述第一周转传动轴(227)通过传动单元(229)与所述第一周转驱动源(221)配合,多个所述第二周转支撑块(226)连接在接驳装置(3)或者传动框架(4)上,所述第二周转传动轴(228)穿设在多个所述第二周转支撑块(226)上且与多个所述第二周转传动轮(2222)配合。
4.根据权利要求3所述的镀膜载板运输系统,其特征在于,所述传动单元(229)包括减速器(2291)、传动带结构(2292),所述减速器(2291)与所述第一周转驱动源(221)配合,所述传动带结构(2292)与所述减速器(2291)及所述第一周转传动轴(227)配合。
5.根据权利要求1所述的镀膜载板运输系统,其特征在于,所述周转驱动模组(22)包括:
第二周转驱动源(210),所述第二周转驱动源(210)设在所述周转小车(21)上;
周转齿轮(220),所述周转齿轮(220)设在所述第二周转驱动源(210)的输出轴上;
周转齿条(230),所述周转齿条(230)与所述行走轨道(1)平行设置,且与所述周转齿轮(220)配合。
6.根据权利要求1-5任一项所述镀膜载板运输系统,其特征在于,所述镀膜载板运输系统还包括接驳装置(3),所述接驳装置(3)位于相邻两个所述周转行走装置(2)之间,所述接驳装置(3)能够将一个所述周转行走装置(2)上的所述镀膜载板运输到另一个所述周转行走装置(2)上。
7.根据权利要求6任一项所述的镀膜载板运输系统,其特征在于,所述周转小车(21)限定出周转容纳腔,所述周转容纳腔的沿所述行走轨道(1)的长度方向的两端设有周转出入口(211),所述周转容纳腔沿与所述行走轨道(1)的长度方向垂直的方向相对两个侧壁上设有周转支撑驱动模组,所述周转支撑驱动模组用于支撑以及驱动所述镀膜载板。
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