[发明专利]一种镀膜载板运输系统在审
申请号: | 202211024679.9 | 申请日: | 2022-08-25 |
公开(公告)号: | CN115394697A | 公开(公告)日: | 2022-11-25 |
发明(设计)人: | 申曌奉;徐文涛;陈晨;周剑;路坤 | 申请(专利权)人: | 苏州迈为科技股份有限公司;苏州迈正科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L31/18;C23C14/56 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 陈宏 |
地址: | 215200 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 镀膜 运输 系统 | ||
本发明公开了一种镀膜载板运输系统,该镀膜载板运输系统包括行走轨道和周转行走装置,周转行走装置可活动地设在行走轨道上,周转行走装置用于装载镀膜载板,周转行走装置包括周转小车和周转驱动模组,周转小车可活动地设在行走轨道上,周转小车用于装载镀膜载板,周转驱动模组与周转小车配合以驱动周转小车沿行走轨道的长度方向运动。该镀膜载板运输系统的结构较为简单,使用成本较低,且能够较好地避免镀膜载板在运输过程中出现磨损,在延长镀膜载板使用寿命的同时,降低对镀膜工艺造成的污染。
技术领域
本发明涉及太阳能电池制造技术领域,尤其涉及一种镀膜载板运输系统。
背景技术
太阳能电池生产设备在工作过程中载板装载硅片且在真空腔体内进行镀膜,该设备包含上层真空腔体镀膜系统、自动化上下料系统和下回传系统,下回传系统的主要功能为将载板上的硅片取下后,通过升降架机构将载板从高处运载至下回传传输机构,再由下回传传输机构传回上料处,上料处升降机构接回载板,提升至上层上料机构进行放片,如此进行往复运动。而现有的下回传传输机构为多腔体通道动态传送结构,载板通过回传通道内转动的滚轮进行传送。这种传送结构用到的电机和轴承较多,维护保养成本高,耗时长。与此同时,载板在传动过程中伴随较大的震动,会对载板造成磨损,且载板与滚轮之间的摩擦会产生粉尘,扬起的粉尘附着在载板上,会对产品镀膜造成污染。
发明内容
本发明的目的在于提出一种镀膜载板运输系统,该镀膜载板运输系统的结构较为简单,使用成本较低,且能够较好地避免镀膜载板在运输过程中出现磨损,在延长镀膜载板使用寿命的同时,降低对镀膜工艺造成的污染。
为实现上述技术效果,本发明的技术方案如下:
本发明公开了一种镀膜载板运输系统,包括:行走轨道;周转行走装置,所述周转行走装置可活动地设在所述行走轨道上,所述周转行走装置为沿所述行走轨道的长度方向间隔设置的多个,每个所述周转行走装置用于装载镀膜载板;接驳装置,所述接驳装置为多个,每个所述接驳装置位于相邻两个所述周转行走装置之间,所述接驳装置能够将一个所述周转行走装置上的所述镀膜载板运输到另一个所述周转行走装置上。
在一些实施例中,所述周转行走装置包括:周转小车,所述周转小车可活动地设在所述行走轨道上,所述周转小车用于装载所述镀膜载板;周转驱动模组,所述周转驱动模组与所述周转小车配合以驱动所述周转小车沿所述行走轨道的长度方向运动。
在一些具体的实施例中,所述周转驱动模组包括:第一周转驱动源,所述第一周转驱动源与传动框架固定相连;传动带组件,所述传动带组件包括第一周转传动轮、第二周转传动轮以及周转传动带,所述第一周转传动轮与所述第一周转驱动源传动配合,所述周转传动带的两端分别绕过所述第一周转传动轮和所述第二周转传动轮后与所述周转小车固定相连。
在一些更具体的实施例中,所述传动带组件为多个,多个所述传动带组件沿与所述行走轨道垂直的方向间隔设置;所述周转驱动模组还包括第一周转支撑块、第二周转支撑块、第一周转传动轴第二周转传动轴,多个第一周转支撑块连接在所述传动框架上,所述第一周转传动轴穿设在多个第一周转支撑块上且与多个所述第一周转传动轮配合,所述第一周转传动轴通过传动单元与所述第一周转驱动源配合,多个第二周转支撑块连接在所述接驳装置上,所述第二周转传动轴穿设在多个第二周转支撑块上且与多个所述第二周转传动轮配合。
在一些可选的实施例中,所述传动单元包括减速器、传动带结构,所述减速器与所述第一周转驱动源配合,所述传动带结构与所述减速器及所述第一周转传动轴配合。
在一些具体的实施例中,所述周转驱动模组包括:第二周转驱动源,所述第二周转驱动源设在所述周转小车上;周转齿轮,所述周转齿轮设在所述第二周转驱动源的输出轴上;周转齿条,所述周转齿条与所述行走轨道平行设置,且与所述周转齿轮配合。
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