[发明专利]用于制造显示装置的设备

权利要求书

1.一种用于制造显示装置的设备，所述设备包括：

台，靶基底安装在所述台上；以及

抽吸单元，位于所述台上方，所述抽吸单元包括：主体，包括具有顶部开口和底部开口的外盒和设置在所述外盒中的内杯；发光单元，设置在所述外盒的至少一个内表面上，所述发光单元提供光；以及光接收单元，设置为与所述发光单元相对，并且设置在所述外盒的至少一个内表面上，所述光接收单元接收从所述发光单元提供的所述光。

2.如权利要求1所述的设备，其中，所述发光单元和所述光接收单元设置在所述外盒的不与所述内杯叠置的区域中。

3.如权利要求2所述的设备，其中，

所述光接收单元包括：第一光接收单元，在第一方向上延伸；以及第二光接收单元，在与所述第一方向相交的第二方向上延伸，并且

其中，所述发光单元设置为与所述第一光接收单元相对，并且包括在所述第一方向上布置的第一发光模块。

4.如权利要求3所述的设备，其中，所述发光单元还包括设置为与所述第二光接收单元相对的第二发光模块，所述第二发光模块设置在所述外盒的所述内表面上并且在所述第二方向上布置。

5.如权利要求3所述的设备，其中，所述发光单元还包括第二发光模块，所述第二发光模块面向所述外盒的所述内表面上的其中所述第一光接收单元和所述第二光接收单元设置在一起的区域。

6.如权利要求1所述的设备，所述设备还包括：

控制器，其中，

所述抽吸单元包括朝向所述台喷射空气的鼓风机，所述鼓风机结合到所述主体，并且

其中，在所述光接收单元的区域中接收的光的量减少的情况下，所述控制器控制所述鼓风机以增加朝向所述光接收单元的所述区域喷射的空气的强度。

7.如权利要求6所述的设备，所述设备还包括：

集尘单元，连接到所述抽吸单元，

其中，所述抽吸单元包括：抽吸部分，限定在所述外盒与所述内杯之间；以及连接管，将所述抽吸部分连接到所述集尘单元，并且

其中，所述集尘单元向所述抽吸单元提供负压，并且

在所述光接收单元的区域中接收的光的量减少的情况下，所述控制器控制所述集尘单元以增加朝向所述光接收单元的所述区域提供的负压。

8.如权利要求1所述的设备，其中，

所述发光单元围绕所述外盒的所述内表面，

所述光接收单元围绕所述外盒的所述内表面，并且

所述发光单元位于所述光接收单元上方，并且

其中，所述发光单元包括在第一方向上布置的发光模块，所述发光模块中的每个将光提供到设置为与所述外盒的其上设置有所述发光模块的所述内表面相对的所述光接收单元。

9.一种用于制造显示装置的设备，所述设备包括：

台，靶基底安装在所述台上；以及

抽吸单元，位于所述台上方，所述抽吸单元包括：抽吸部分，向所述靶基底提供负压；发光单元，设置为与所述抽吸部分相邻，并且提供光；以及光接收单元，在与所述抽吸部分相邻的同时定位为与所述发光单元相对，并且接收从所述发光单元提供的所述光，其中，

在第一模式下，由所述光接收单元指示的光接收量是正常状态，以及

在第二模式下，所述光接收量小于所述第一模式下的所述光接收量。

10.如权利要求9所述的设备，其中，由所述抽吸部分提供的所述负压在所述第二模式下比在所述第一模式下大。