[发明专利]用于制造显示装置的设备在审
申请号: | 202211024774.9 | 申请日: | 2022-08-25 |
公开(公告)号: | CN115732359A | 公开(公告)日: | 2023-03-03 |
发明(设计)人: | 金炯柱;卞重培;丁一荣 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人: | 肖芳;田野 |
地址: | 韩国京畿*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 制造 显示装置 设备 | ||
提供了一种用于制造显示装置的设备。根据实施例,所述用于制造显示装置的设备包括靶基底安装在其上的台和位于台上方的抽吸单元。抽吸单元包括:主体,包括具有顶部开口和底部开口的外盒以及设置在外盒中的内杯;发光单元,设置在外盒的至少一个内表面上,发光单元提供光;以及光接收单元,设置为与发光单元相对,并且设置在外盒的至少一个内表面上,光接收单元接收从发光单元提供的光。
技术领域
公开涉及一种用于制造显示装置的设备。
背景技术
随着多媒体技术的发展,显示装置的重要性已经稳步增加。因此,已经开发了诸如液晶显示(LCD)装置、有机发光显示(OLED)装置等的各种类型的显示装置。
通过切割由母基底形成的单元类基底来形成构成显示装置的显示面板,并且在该切割工艺期间,可能产生细颗粒或烟雾。此时产生的细颗粒或烟雾可能被垫部吸附,并且可能导致垫部的接触失效。因此,需要去除这种细颗粒和烟雾。
将理解的是,该背景技术部分旨在部分地提供用于理解技术的有用背景。然而,该背景技术部分也可以包括不是相关领域技术人员在这里公开的主题的对应有效申请日之前已知或理解的内容的部分的想法、理念或认识。
发明内容
实施例可以提供一种用于制造显示装置的设备,所述显示装置能够通过定量地测量在用于处理靶基底的激光处理工艺期间产生的烟雾的量来控制产生的烟雾的量。
实施例的附加特征将在下方的描述中阐述,并且部分地可以通过描述而明显,或者可以通过实践这里的一个或多个实施例来学习。
根据实施例,一种用于制造显示装置的设备可以包括靶基底安装在其上的台和位于台上方的抽吸单元。抽吸单元可以包括:主体,包括具有顶部开口和底部开口的外盒和设置在外盒中的内杯;发光单元,设置在外盒的至少一个内表面上以提供光;以及光接收单元,设置为与发光单元相对,并且设置在外盒的至少一个内表面上,光接收单元接收从发光单元提供的光。
发光单元和光接收单元可以设置在外盒的不与内杯叠置的区域中。
光接收单元可以包括:第一光接收单元,在第一方向上延伸;以及第二光接收单元,在与第一方向相交的第二方向上延伸。
发光单元可以设置为与第一光接收单元相对,并且可以包括在第一方向上布置的第一发光模块。
发光单元可以包括设置为与第二光接收单元相对的第二发光模块,第二发光模块设置在外盒的内表面上并且在第二方向上布置。
发光单元还可以包括第二发光模块,第二发光模块面向外盒的内表面上的其中第一光接收单元和第二光接收单元设置在一起的区域。
设备还可以包括控制器。抽吸单元可以包括朝向台喷射空气的鼓风机,鼓风机结合到主体。控制器可以控制鼓风机和抽吸单元的操作。
在光接收单元的区域中接收的光的量减少的情况下,控制器可以控制鼓风机以增加朝向光接收单元的所述区域喷射的空气的强度。
设备还可以包括连接到抽吸单元的集尘单元。抽吸单元可以包括:抽吸部分,限定在外盒与内杯之间;以及连接管,将抽吸部分连接到集尘单元。
集尘单元可以向抽吸单元提供负压。在光接收单元的区域中接收的光的量减少的情况下,控制器可以控制集尘单元以增加朝向光接收单元的所述区域提供的负压。
发光单元可以围绕外盒的内表面。光接收单元可以围绕外盒的内表面。发光单元可以位于光接收单元上方。
发光单元可以包括在第一方向上布置的发光模块。发光模块中的每个可以将光提供到设置为与外盒的其上设置有发光模块的内表面相对的光接收单元。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造