[发明专利]一种自动拍摄扫描电镜的方法

权利要求书

1.一种自动拍摄扫描电镜的方法，其特征在于：由样品处理、样品输入、标准图片选择、程序标定、自动扫描、样品比对、数据存储几个步骤；所述的样品处理包括：取材、清洗、固定、脱水、干燥、导电处理几个步骤；所述的样品输入为：一次拍摄的同一批样品，由工作人员提前对样品在不同倍数下调整至最佳视角，并且将焦距输入程序中，在切换不同倍数对样品进行拍摄时程序调整焦距对样品进行拍摄；所述的标准图片选择为：使用人员根据需要对系统设置的标准图片进行选择，该标准图片为类似能够拍到的样品图片；所述的程序标定为：选择需要拍摄的倍数和标定方式，标定形式分为：点扫描、线扫描、面扫描，程序自动进行标定；所述的自动扫描为：扫描电镜根据选择好的拍摄倍数和标定方式进行工作，一个拍摄倍数对应的不同标定方式扫描完成再进行下一个拍摄倍数的扫描，直至所有选择好的标定完成；所述的样品比对为：在扫描电镜执行选择好的标定并规划好扫描路径后，在扫描过程中画面与标准图片进行实时比对，一旦发现与标准图片类似的画面即进行拍摄记录，所述的数据记录为对扫描电镜拍摄的照片进行储存。

2.根据权利要求1所述的一种自动拍摄扫描电镜的方法，其特征在于：扫描电镜在需要时外接计算机、分析仪器；辅助扫描电镜进行工作。

3.根据权利要求1所述的一种自动拍摄扫描电镜的方法，其特征在于：样品干燥主要为：空气干燥法，将经过脱水的样品，让其暴露在空气中使脱水剂逐渐挥发干燥，简便易行，节省时间；临界点干燥法，利用物质在临界状态时，其表面张力等于零的特性，使样品的液体完全汽化，并以气体方式排掉，来达到完全干燥的目的，避免表面张力的影响，较好地保存样品的微细结构，较为方便，时间较短；冷冻干燥法，将经过冷冻的样品置于高真空中，通过升华除去样品中的水分或脱水剂，冷冻干燥的基础是冰从样品中升华，即水分从固态直接转化为气态，不经过中间的液态，不存在气相和液相之间的表面张力对样品的作用，从而减轻在干燥过程中对样品的损伤，根据要处理的样品灵活进行干燥方法的选择。

4.根据权利要求1所述的一种自动拍摄扫描电镜的方法，其特征在于：样品经过脱水、干燥处理后，其表面不带电，导电性能也差，影响对图象的观察和拍照记录，因此在观察之前要进行导电处理，使样品表面导电，所述的导电方法有包括:金属镀膜法和组织导电法。

5.根据权利要求1所述的一种自动拍摄扫描电镜的方法，其特征在于：还设置有数据库，所拍摄的照片自动保存，可对标准图片进行补充。