[发明专利]一种自动拍摄扫描电镜的方法

说明书

本发明涉及一种自动拍摄扫描电镜的方法，属于扫描电镜使用方法改进领域，旨在通过扫描电镜及计算机等设计的一种改进方法，将传统扫描电镜连接到计算机上，通过计算机判断扫描电镜拍摄的画面并进行保存，首先对同一批样品设置程序，由工作人员提前对样品在不同倍数下调整至最佳视角，并且将焦距输入程序中，在切换不同倍数对样品进行拍摄时程序调整焦距对样品进行拍摄，在程序中输入希望能够拍到的样品图片，程序对图片进行分辨，在电镜视图中进行寻找，寻找到与输入图片中类似的图形自动进行拍摄，通过计算机自动比对代替了人工负荷，大大降低了人工量，提高了工作效率。

技术领域

本发明涉及一种自动拍摄扫描电镜的方法，属于扫描电镜使用方法改进领域。

背景技术

扫描电子显微镜(SEM)是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察手段。其利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品，通过光束与物质间的相互作用，来激发各种物理信息，对这些信息收集、放大、以达到1nm；放大倍数可以达到30万倍及以上连续可调；并且景深大，视野大，成像立体效果好。此外，扫描电子显微镜和其他分析仪器相结合，可以做到观察微观形貌的同时进行物质微区成分分析。扫描电子显微镜在岩土、石墨、陶瓷及纳米材料等的研究上有广泛应用。但目前扫描电镜需要全程人工进行操作，费时费力，十分不便，效率低下。

发明内容

本发明提供一种自动拍摄扫描电镜的方法，其目的是设置一套便于扫描电镜使用的方法，控制扫描电镜工作，提高工作效率。

本发明采用的技术方案是：一种自动拍摄扫描电镜的方法，其特征在于：由样品处理、样品输入、标准图片选择、程序标定、自动扫描、样品比对、数据存储几个步骤组成。

进一步的，所述的样品处理包括：取材、清洗、固定、脱水、干燥、导电处理几个步骤。

进一步的，所述的样品输入为：一次拍摄的同一批样品，由工作人员提前对样品在不同倍数下调整至最佳视角，并且将焦距输入程序中，在切换不同倍数对样品进行拍摄时程序调整焦距对样品进行拍摄。

进一步的，所述的标准图片选择为：使用人员根据需要对系统设置的标准图片进行选择，该标准图片为类似能够拍到的样品图片。

进一步的，所述的程序标定为：选择需要拍摄的倍数和标定方式，标定形式分为：点扫描、线扫描、面扫描，程序自动进行标定。

进一步的，所述的自动扫描为：扫描电镜根据选择好的拍摄倍数和标定方式进行工作，一个拍摄倍数对应的不同标定方式扫描完成再进行下一个拍摄倍数的扫描，直至所有选择好的标定完成。

进一步的，所述的样品比对为：在扫描电镜执行选择好的标定并规划好扫描路径后，在扫描过程中画面与标准图片进行实时比对，一旦发现与标准图片类似的画面即进行拍摄记录，所述的数据记录为对扫描电镜拍摄的照片进行储存。

进一步的，扫描电镜在需要时外接计算机、分析仪器。辅助扫描电镜进行工作。

进一步的，样品干燥主要为：空气干燥法、临界点干燥法、冷冻干燥法。

进一步的，所述的空气干燥法是将经过脱水的样品，让其暴露在空气中使脱水剂逐渐挥发干燥，简便易行，节省时间。

进一步的，所述的临界点干燥法是利用物质在临界状态时，其表面张力等于零的特性，使样品的液体完全汽化，并以气体方式排掉，来达到完全干燥的目的，避免表面张力的影响，较好地保存样品的微细结构，较为方便，时间较短。

进一步的，所述的冷冻干燥法是将经过冷冻的样品置于高真空中，通过升华除去样品中的水分或脱水剂，冷冻干燥的基础是冰从样品中升华，即水分从固态直接转化为气态，不经过中间的液态，不存在气相和液相之间的表面张力对样品的作用，从而减轻在干燥过程中对样品的损伤。

进一步的，根据要处理的样品灵活进行干燥方法的选择。