[发明专利]一种晶圆自动贴膜机的上下料装置及其方法

权利要求书

1.一种晶圆自动贴膜机的上下料装置及其方法，包括：

第一步：晶圆上料组件将晶圆料盒中的晶圆料盒移动到待取位置；

第二步：晶圆取片机械手移动至晶圆上料组件的晶圆料盒中夹取晶圆后从晶圆料盒中退出并定位夹取晶圆的圆心；

第三步：晶圆机械手再将晶圆转运至晶圆寻边组件上，晶圆寻边组件可寻找到晶圆上的缺口或平边，并将缺口或平边对准指定方向。

2.晶圆搬运机械手移动至晶圆寻边组件的上方，吸附晶圆并将晶圆移动至指定位置；

第四步：钢环上下料组件将钢环料框移动到待取位置，刚环取片机械手移动至取片位置夹住钢环，并使刚环随运动，运动过程中钢环在规整组件的滑槽上滑动，待钢环滑至指定位置，钢环取片机械手松开钢环并移动至初始位置；

第五步：钢环留在规整组件的滑槽上。

3.钢环规整组件规整钢环至中间，钢环搬运机械手移动至规整后的钢环上方，并吸附钢环将钢环搬运至指定位置；

第六步：钢环和晶圆贴膜完成后，钢环搬运机械手吸附钢环，并将贴有晶圆的钢环移动至规整组件的滑槽上，此时钢环上下料组件将钢环料框移动至下料位置，钢环取片机械手将贴有钢环的晶圆推至钢环料框中，钢环存放在贴晶圆前的原始位置。

4.一种晶圆自动贴膜机的上下料装置，包括机架，其特征在于，所述的机架上固定连接有钢环上下料组件，所述的机架上固定连接有位于钢环上下料组件左侧的晶圆上料组件，所述的机架上固定连接有位于钢环上下料组件下侧的钢环搬运机械手组件，所述的机架上固定连接有位于晶圆上料组件下侧的晶圆取片机械手组件，所述的机架上固定连接有位于晶圆取片机械手组件左侧的晶圆寻边组件，所述的机架上固定连接有位于钢环搬运机械手组件与晶圆取片机械手组件之间的钢环规整组件；所述的机架上固定连接有位于钢环规整组件与晶圆取片机械手组件之间的晶圆搬运机械手，所述的机架上固定连接有与晶圆搬运机械手配合的钢环取片机械手。

5.根据权利要求2所述的一种晶圆自动贴膜机的上下料装置，其特征在于，所述的晶圆上料组件包括机架上固定连接的晶圆上料模组，所述的晶圆上料模组移动块上固定连接有晶圆料盒支撑平台，所述的晶圆上料模组上固定连接有晶圆上料电机，所述的晶圆料盒支撑平台上可拆卸连接有晶圆料盒本体，所述的晶圆料盒本体内放置有晶圆本体。

6.根据权利要求3所述的一种晶圆自动贴膜机的上下料装置，其特征在于，所述的晶圆转运机械手包括机架上固定连接的晶圆运转电机，所述的机架上固定连接有带座轴承，所述的带座轴承内设有晶圆转运丝杠，所述的晶圆转运丝杠与晶圆运转电机转动轴端经晶圆转运皮带连接，所述的机架上滑动连接有与晶圆转运丝杠螺纹连接的晶圆吸盘连接板，所述的机架上固定连接有与晶圆吸盘连接板配合的晶圆转运直线导轨，所述的晶圆吸盘连接板上固定连接有晶圆转运气缸，所述的晶圆转运气缸输出端固定连接有与寻边组件配合的晶圆吸盘支撑板，所述的晶圆吸盘支撑板底部设有晶圆吸盘，所述的晶圆吸盘支撑板与晶圆吸盘设有弹簧。

7.根据权利要求4所述的一种晶圆自动贴膜机的上下料装置，其特征在于，所述的钢环上下料包括机架上设置的钢环上下料直线模组，所述的机架上固定连接有与钢环上下料直线模组配合的钢环上下料电机，所述的钢环上下料电机移动端固定连接有钢环料框支撑平台，所述的钢环料框支撑平台可拆卸连接有钢环料框。