[发明专利]基片位置异常的检测方法与检测装置

权利要求书

1.一种基片位置异常的检测方法，其特征在于，包括：

获取基片分别位于机械手和转架上时的标准图像；

获取基片重新分别位于机械手或转架上时的检测图像；

判断所述标准图像中预设特征的位置与所述检测图像中所述预设特征的位置之间偏差是否在预设范围内；

若不在所述预设范围内，则判断所述基片重新位于机械手或转架上的位置异常。

2.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，所述检测方法还包括：

若在所述预设范围内，则判断所述基片重新位于机械手或转架上的位置正常。

3.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，所述预设特征为多个特征点，包括位于所述基片上的结构特征、位于机械手上的结构特征和位于转架上的结构特征。

4.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，所述预设特征为线特征。

5.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，所述机械手上设有多个第一特征；当在所述检测图像未识别出所述第一特征，则判断所述基片在所述机械手片上悬挂到位；当在所述检测图像识别出所述多个第一特征，则判断所述机械手上未挂所述基片；当在所述检测图像识别出部分所述第一特征，则判断所述基片在所述机械手上未挂到位；

所述转架上设有多个第二特征；当在所述检测图像未识别出所述第二特征，则判断所述基片在所述转架上悬挂到位；当在所述检测图像识别出所述多个第二特征，则判断所述转架上未挂所述基片；当在所述检测图像识别出部分所述第二特征，则判断所述基片在所述转架上未悬挂到位。

6.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，所述标准图像与所述检测图像的边界位置一致。

7.一种基片位置异常的检测装置，其特征在于，包括：

图像获取模块，用于获取基片分别位于机械手和转架上时的标准图像，以及基片重新分别位于机械手或转架上时的检测图像；

图像对比模块，与所述图像获取模块连接，所述图像对比模块被配置为判断所述标准图像中预设特征的位置与所述检测图像中所述预设特征的位置之间偏差是否在预设范围内；

输出模块，与所述图像对比模块连接，若所述标准图像中预设特征的位置与所述检测图像中所述预设特征的位置之间偏差不在所述预设范围内，则输出所述基片重新位于机械手或转架上位置异常的信息。

8.根据权利要求7所述的检测装置，其特征在于，若所述标准图像中预设特征的位置与所述检测图像中所述预设特征的位置之间偏差在所述预设范围内，则输出所述基片重新位于机械手或转架上位置正常的信息。

9.根据权利要求7所述的检测装置，其特征在于，所述机械手上设有多个第一特征；当所述图像对比模块在所述检测图像未识别出所述第一特征，则所述输出模块输出所述基片在所述机械手上悬挂到位的信息；当所述图像对比模块在所述检测图像识别出所述多个第一特征，则所述输出模块输出所述机械手上未挂所述基片的信息；当所述图像对比模块在所述检测图像识别出部分所述第一特征，则所述输出模块输出所述基片在所述机械手上未挂到位的信息；

所述转架上设有多个第二特征；当所述图像对比模块在所述检测图像未识别出所述第二特征，则所述输出模块输出所述基片在所述机械手上悬挂到位的信息；当所述图像对比模块在所述检测图像识别出所述多个第二特征，则所述输出模块输出所述转架上未挂所述基片的信息；当所述图像对比模块在所述检测图像识别出部分所述第二特征，则所述输出模块输出所述基片在所述转架上未悬挂到位的信息。

10.根据权利要求8所述的检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括：

显示模块，与所述输出模块连接，用于显示所述输出模块输出端的所述位置异常的信息和所述位置正常的信息；

控制模块，与所述图像获取模块、所述图像对比模块、所述输出模块及所述显示模块连接。