[发明专利]一种遮光罩分区温控系统

权利要求书

1.一种遮光罩分区温控系统，其特征在于：至少包括若干个遮光罩温控子系统(100)以及显控柜(200)，每个遮光罩温控子系统(100)都至少具备遮光罩单元(1)、制冷单元(5)、加热单元(6)以及传感器单元(7)，并且制冷单元(5)、加热单元(6)以及传感器单元(7)都直接紧贴在遮光罩单元上；若干个遮光罩单元(1)相互联接成为遮光罩组合体(10)，并紧箍在光学组件(300)外表面；以此，通过显控柜(200)的控制，每个遮光罩温控子系统(100)都在制冷单元(5)与加热单元(6)的联合作用下独立运行，有效应对光学组件(300)各区位温度差异，使光学组件(300)在精确稳定的温度下工作。

2.根据权利要求1所述的一种遮光罩分区温控系统，其特征在于：所述遮光罩温控子系统(100)还具备护罩(2)，所述护罩(2)可拆卸的固定在遮光罩单元(1)上，并在护罩(2)与遮光罩单元(1)之间形成间隙，便于走线，使得遮光罩分区温控系统整体更加美观、整洁。

3.根据权利要求1所述的一种遮光罩分区温控系统，其特征在于：所述遮光罩分区温控系统还具备导热垫(8)，其填充在遮光罩组合体(10)与光学组件(300)之间，提高热传导效率；所述导热垫(8)的材料为硅胶。

4.根据权利要求1所述的一种遮光罩分区温控系统，其特征在于：所述遮光罩温控子系统(100)的个数为4个；遮光罩组合体(10)的形状为圆筒型，其由4个半圆筒型遮光罩单元(1)组合而成。

5.根据权利要求4所述的一种遮光罩分区温控系统，其特征在于：所述遮光罩单元(1)的材料为铝合金，其外周面上布置有若干个凸台(1.1)。

6.根据权利要求5所述的一种遮光罩分区温控系统，其特征在于：所述制冷单元(5)由若干个半导体制冷器组成，半导体制冷器冷端紧贴在凸台(1.1)上。

7.根据权利要求6所述的一种遮光罩分区温控系统，其特征在于：所述遮光罩温控子系统(100)还具备散热器(3)，散热器(3)紧贴在半导体制冷器的散热面上。

8.根据权利要求7所述的一种遮光罩分区温控系统，其特征在于：所述半导体制冷器与散热器上都开设有通孔，两者通过第一螺钉(4)紧固在遮光罩单元(1)上。

9.根据权利要求4所述的一种遮光罩分区温控系统，其特征在于：所述加热单元(6)由若干个加热片组成，加热片上开设有第一避让孔(6.1)，所述凸台(1.1)从第一避让孔(6.1)中探出。

10.根据权利要求1所述的一种遮光罩分区温控系统，其特征在于：所述传感器单元(7)由若干PT100组成，PT100采用胶水粘贴形式贴在遮光罩单元(1)上。