[发明专利]一种单晶炉投料装置有效

专利信息
申请号: 202211059672.0 申请日: 2022-09-01
公开(公告)号: CN115142122B 公开(公告)日: 2022-11-22
发明(设计)人: 曹建伟;朱亮;傅林坚;叶钢飞;倪军夫;李玉刚 申请(专利权)人: 浙江求是半导体设备有限公司
主分类号: C30B15/02 分类号: C30B15/02;C30B15/20;C30B29/06
代理公司: 杭州钤韬知识产权代理事务所(普通合伙) 33329 代理人: 赵杰香
地址: 311100 浙江省杭州市*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 单晶炉 投料 装置
【权利要求书】:

1.一种单晶炉投料装置,包括:

机架;

炉体,所述炉体至少部分设置在所述机架上;

投料装置,所述投料装置设置在所述炉体的下侧,用于接收所述炉体输送的原料;

驱动组件,所述驱动组件连接至所述投料装置,用于驱动所述投料装置沿预设方向进行直线往复运动;

单晶炉,包括投料口,所述投料装置通过投料口将原料输送至所述单晶炉内;

其特征在于,

所述驱动组件包括驱动轮机构、从动轮机构、张紧机构和传送带机构,所述从动轮机构至少部分设置在所述驱动轮机构的前侧,所述张紧机构至少部分设置在所述驱动轮机构和所述从动轮机构之间,所述传送带机构围绕所述驱动轮机构和所述从动轮机构设置,所述张紧机构包括抵接至所述传送带机构的第一状态和与所述传送带机构分离的第二状态;当所述单晶炉投料装置处于正常工作时,所述张紧机构处于所述第一状态;当所述单晶炉投料装置处于异常工作时,所述张紧机构处于所述第二状态,以使所述单晶炉投料装置停机。

2.根据权利要求1所述的单晶炉投料装置,其特征在于,所述驱动组件还包括第一驱动件和第二驱动件,所述第一驱动件包括第一工作状态和第二工作状态,当所述第一驱动件处于所述第一工作状态时,所述第一驱动件传动连接至所述驱动轮机构,所述第二驱动件与所述驱动轮机构处于分离状态;当所述第一驱动件处于所述第二工作状态时,所述第一驱动件与所述驱动轮机构处于分离状态,所述第二驱动件传动连接至所述驱动轮机构。

3.根据权利要求2所述的单晶炉投料装置,其特征在于,所述驱动轮机构包括第一驱动轮和第二驱动轮,所述第一驱动轮和所述第二驱动轮传动连接,当所述第一驱动件处于所述第一工作状态时,所述第一驱动件驱动所述第一驱动轮带动所述第二驱动轮运行;当所述第一驱动件处于所述第二工作状态时,所述第二驱动件驱动所述第二驱动轮带动所述第一驱动轮运行。

4.根据权利要求3所述的单晶炉投料装置,其特征在于,所述传送带机构包括第一传动带和第二传送带,所述第一驱动轮驱动所述第一传送带,所述第二驱动轮驱动所述第二传送带;当所述第一传送带处于异常状态时,所述第一驱动件处于所述第二工作状态;当所述第二传送带处于异常状态时,所述第一驱动件处于所述第一工作状态。

5.根据权利要求3所述的单晶炉投料装置,其特征在于,

所述驱动轮机构还包括同步轴,所述第一驱动轮和所述第二驱动轮通过所述同步轴传动连接。

6.根据权利要求1或2所述的单晶炉投料装置,其特征在于,

所述单晶炉投料装置还包括检测机构和感应机构,所述感应机构设置在所述传送带机构上,所述检测机构靠近所述驱动轮机构设置,所述检测机构用于检测所述感应机构在所述传送带机构上的位置,以检测所述传送带机构的转动方向。

7.根据权利要求6所述的单晶炉投料装置,其特征在于,

所述检测机构包括第一检测单元和第二检测单元,所述感应机构包括第一感应单元和第二感应单元,所述第一检测单元和所述第一感应单元用于检测传送带机构的第一转动方向,所述第二检测单元和所述第二感应单元用于检测所述传送带机构的第二转动方向,所述第一转动方向和所述第二转动方向相反。

8.根据权利要求7所述的单晶炉投料装置,其特征在于,

所述第一感应单元和所述第二感应单元分别设置在所述传送带机构的上下两侧,所述第一检测单元和所述第二检测单元分别设置在所述传送带机构的上下两侧。

9.根据权利要求1或2或4所述的单晶炉投料装置,其特征在于,

所述传送带机构上设置有连接部,当所述张紧机构处于所述第一状态时,所述传送带机构通过所述连接部连接至所述投料装置。

10.根据权利要求1或2所述的单晶炉投料装置,其特征在于,

所述单晶炉投料装置还包括复位机构,在所述复位机构被触发的情况下,所述投料装置移动至初始位置。

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