[发明专利]一种单晶炉投料装置

说明书

本发明公开了一种单晶炉投料装置，包括机架；炉体；投料装置；驱动组件；单晶炉，包括投料口；驱动组件包括驱动轮机构、从动轮机构、张紧机构和传送带机构，从动轮机构至少部分设置在驱动轮机构的前侧，张紧机构至少部分设置在驱动轮机构和从动轮机构之间，传送带机构围绕驱动轮机构和从动轮机构设置，张紧机构包括抵接至传送带机构的第一状态和与传送带机构分离的第二状态；当单晶炉投料装置处于正常工作时，张紧机构处于第一状态；当单晶炉投料装置处于异常工作时，张紧机构处于第二状态，以使单晶炉投料装置停机。通过上述设置，避免驱动组件的异常工作状态造成单晶炉损坏，提升了单晶炉的使用寿命，降低对单晶炉造成的经济损失。

技术领域

本发明涉及单晶硅制造技术领域，尤其是指一种单晶炉投料装置。

背景技术

单晶炉是一种在惰性气体（氮气、氦气为主）环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。单晶炉配套设置有用于向单晶炉内输送原料的投料装置，投料装置通过位移驱动机构进行驱动，从而在需要进行投料时，通过位移驱动机构将投料装置输送至单晶炉；在完成投料时，通过位移驱动机构将投料装置输送至远离单晶炉的位置。

在现有技术中，投料装置未设置有对其进行应急保护相应的功能或装置，当投料装置出现故障时会导致单晶炉无法正常工作，甚至导致单晶炉闷锅停炉，造成极大的经济损失。

此外，投料装置缺乏投料状态监测保护，投料时无法准确检测到投料状态，当出现投料异常时无法做出及时判断，将故障消除在进一步恶化之前，避免经济损失。

发明内容

为了解决现有技术的不足，本发明的目的在于提供一种可以提升应急保护能力的单晶炉投料装置。

为实现上述目的，本发明采用如下的技术方案：

一种单晶炉投料装置，包括机架，用于支撑单晶炉投料装置；炉体，炉体至少部分设置在机架上；投料装置，投料装置设置在炉体的下侧，用于接收炉体输送的原料；驱动组件，驱动组件连接至投料装置，用于驱动投料装置沿预设方向进行直线往复运动；单晶炉，包括投料口，投料装置通过投料口将原料输送至单晶炉内；驱动组件包括驱动轮机构、从动轮机构、张紧机构和传送带机构，从动轮机构至少部分设置在驱动轮机构的前侧，张紧机构至少部分设置在驱动轮机构和从动轮机构之间，传送带机构围绕驱动轮机构和从动轮机构设置，张紧机构包括抵接至传送带机构的第一状态和与传送带机构分离的第二状态；当单晶炉投料装置处于正常工作时，张紧机构处于第一状态；当单晶炉投料装置处于异常工作时，张紧机构处于第二状态，以使单晶炉投料装置停机。

进一步地，驱动组件还包括第一驱动件和第二驱动件，第一驱动件包括第一工作状态和第二工作状态，当第一驱动件处于第一工作状态时，第一驱动件传动连接至驱动轮机构，第二驱动件与驱动轮机构处于分离状态；当第一驱动件处于第二工作状态时，第一驱动件与驱动轮机构处于分离状态，第二驱动件传动连接至驱动轮机构。

进一步地，驱动轮机构包括第一驱动轮和第二驱动轮，第一驱动轮和第二驱动轮传动连接，当第一驱动件处于第一工作状态时，第一驱动件驱动第一驱动轮带动第二驱动轮运行；当第一驱动件处于第二工作状态时，第二驱动件驱动第二驱动轮带动第一驱动轮运行。

进一步地，传送带机构包括第一传动带和第二传送带，第一驱动轮驱动第一传送带，第二驱动轮驱动第二传送带；当第一传送带处于异常状态时，第一驱动件处于第二工作状态；当第二传送带处于异常状态时，第一驱动件处于第一工作状态。

进一步地，驱动轮机构还包括同步轴，第一驱动轮和第二驱动轮通过同步轴传动连接。

进一步地，单晶炉投料装置还包括检测机构和感应机构，感应机构设置在传送带机构上，检测机构靠近驱动轮机构设置，检测机构用于检测感应机构在传送带机构上的位置，以检测传送带机构的转动方向。