[发明专利]微机械传感器的测试装置、系统及方法

权利要求书

1.一种微机械传感器的测试装置，其特征在于，包括：

温控容器；

测试容器，能够放置于所述温控容器内，所述测试容器具有密封腔，所述密封腔适于放置待测表芯；所述测试容器还设有与所述密封腔连通的抽气口和充气口，所述抽气口用于对所述密封腔抽气，所述充气口用于对所述密封腔充气；

测试电路，可拆卸安装于所述密封腔内，所述测试电路用于可拆卸连接所述待测表芯。

2.根据权利要求1所述的微机械传感器的测试装置，其特征在于，所述测试容器还包括支撑件；

所述支撑件的一端与所述密封腔的内壁连接、另一端朝向所述密封腔的中心延伸，所述支撑件朝向所述密封腔中心的一端适于放置所述待测表芯。

3.根据权利要求1所述的微机械传感器的测试装置，其特征在于，所述测试装置还包括：

电气接口，与所述密封腔密封连接；

所述电气接口的一端伸入所述密封腔内，用于与所述测试电路电连接；所述电气接口的另一端伸出所述密封腔，用于与外部线缆连接。

4.根据权利要求1所述的微机械传感器的测试装置，其特征在于，所述测试装置还包括：

抽气装置进气组件，包括第一管道和第一阀体；所述第一管道的一端用于连接气源，另一端与所述充气口连接，所述第一阀体设置于所述气源和所述充气口之间；

出气组件，包括第二管道和第二阀体，所述第二管道的一端用于连接抽气装置，另一端与所述抽气口连接，所述第二阀体设置于所述抽气装置和所述抽气口之间。

5.根据权利要求4所述的微机械传感器的测试装置，其特征在于，所述第一阀体和/或所述第二阀体为截止阀。

6.一种微机械传感器的测试系统，其特征在于，包括测控装置及权利要求1至5任一项所述的微机械传感器的测试装置；

所述测控装置与所述微机械传感器的测试装置电连接。

7.根据权利要求6所述的微机械传感器的测试系统，其特征在于，还包括：

气源，与所述测试容器的充气口连接，用于提供干燥气体；

抽气装置，与所述测试容器的抽气口连接。

8.根据权利要求7所述的微机械传感器的测试系统，其特征在于，所述抽气装置为真空泵组。

9.一种微机械传感器的测试方法，基于权利要求1至5任一项所述的微机械传感器的测试装置或权利要求6至8任一项所述的微机械传感器的测试系统，其特征在于，包括：

将待测表芯与测试电路电连接；

将所述待测表芯和所述测试电路放置于测试容器内，并将所述测试电路与所述测试容器连接；

对所述测试容器进行抽气至第一目标气压；

对所述测试容器进行充气至第二目标气压；

将所述测试容器放置于温控容器内，并将所述测试电路与外部线缆连接；

设定测试参数，按照所述测试参数对所述待测表芯进行性能测试。

10.根据权利要求9所述的微机械传感器的测试方法，其特征在于，所述第一目标气压为真空状态，所述第二目标气压为标准大气压。