[发明专利]微机械传感器的测试装置、系统及方法

说明书

本发明提供一种微机械传感器的测试装置、系统及方法，所述测试装置包括：温控容器、测试电路及测试容器。测试容器能够放置于所述温控容器内，所述测试容器具有密封腔，所述密封腔适于放置待测表芯；所述测试容器还设有与所述密封腔连通的抽气口和充气口，所述抽气口用于对所述密封腔抽气，所述充气口用于对所述密封腔充气；测试电路可拆卸安装于所述密封腔内，所述测试电路用于可拆卸连接所述待测表芯。本发明既可以对待测表芯进行测试，又可避免水汽等干扰物质对测试结果的影响，提高测试的稳定性，从而提高测试的重复性，提高测试效率，使用方便，结构简单。

技术领域

本发明涉及检测设备技术领域，尤其涉及一种微机械传感器的测试装置、系统及方法。

背景技术

陀螺仪是一种重要的惯性传感器，它广泛应用于制导、航天飞行器等军事领域和汽车稳定控制、电子玩具等民用领域。MEMS(微机械)陀螺和其他类型的陀螺相比具有成本低、体积小、可靠性高、结构简单等优点，能够进一步满足军事领域和民用领域的要求。MEMS陀螺表芯的宽温性能是其重要指标，其测试结果的好坏直接影响产品的最终性能。

目前，MEMS陀螺表芯的测试是将MEMS陀螺表芯固定在测试电路上，再将测试电路连同MEMS陀螺表芯一起置于温箱中，按照设定的温度进行高低温温度的循环测试，同时实时采集MEMS陀螺表芯输出信号。

但是，现有的测试设备及测试方法对MEMS陀螺表芯进行测试的重复性差，无法准确筛选出合格的产品，需要反复多次测试，工作效率低。

发明内容

本发明提供一种微机械传感器的测试装置、系统及方法，用以解决现有技术中的测试设备及测试方法对MEMS陀螺表芯进行测试的重复性差，无法准确筛选出合格的产品，需要反复多次测试，工作效率低的缺陷。

本发明提供一种微机械传感器的测试装置，包括温控容器、测试电路及测试容器；测试容器能够放置于所述温控容器内，所述测试容器具有密封腔，所述密封腔适于放置待测表芯；所述测试容器还设有与所述密封腔连通的抽气口和充气口，所述抽气口用于对所述密封腔抽气，所述充气口用于对所述密封腔充气；测试电路可拆卸安装于所述密封腔内，所述测试电路用于可拆卸连接所述待测表芯。

根据本发明提供的一种微机械传感器的测试装置，所述测试容器还包括支撑件；所述支撑件的一端与所述密封腔的内壁连接，另一端朝向所述密封腔的中心延伸，所述支撑件朝向所述密封腔中心的一端适于放置所述待测表芯。

根据本发明提供的一种微机械传感器的测试装置，所述测试装置还包括：电气接口，与所述密封腔密封连接；所述电气接口的一端伸入所述密封腔内，用于与所述测试电路电连接；所述电气接口的另一端伸出所述密封腔，用于与外部线缆连接。

根据本发明提供的一种微机械传感器的测试装置，所述测试装置还包括：进气组件和出气组件；所述进气组件包括第一管道和第一阀体；所述第一管道的一端用于连接气源，另一端与所述充气口连接，所述第一阀体设置于所述气源和所述充气口之间；所述出气组件包括第二管道和第二阀体，所述第二管道的一端用于连接抽气装置，另一端与所述抽气口连接，所述第二阀体设置于所述抽气装置和所述抽气口之间。

根据本发明提供的一种微机械传感器的测试装置，所述第一阀体和/或所述第二阀体为截止阀。

本发明还提供一种微机械传感器的测试装置的测试系统，包括测控装置及上述任一项所述的微机械传感器的测试装置，所述测控装置与所述微机械传感器的测试装置电连接。

根据本发明提供的一种微机械传感器的测试系统，还包括：气源和抽气装置；气源与所述测试容器的充气口连接，用于提供干燥气体；抽气装置与所述测试容器的抽气口连接。

根据本发明提供的一种微机械传感器的测试系统，所述抽气装置为真空泵组。