[发明专利]压电晶体元器件掩膜板盖板机

权利要求书

1.压电晶体元器件掩膜板盖板机，包括设备机架(1)，其特征在于：所述设备机架(1)上端面一侧依次设有上料机构(2)、载台输送机构(3)、载台定位机构(4)、纠错机构、UP Mask板盖板机构(6)和Mask上盖板盖板机构(7)，所述上料机构(2)包括升降模组(201)和固定设于升降模组底部的提篮料仓(202)，所述载台输送机构(3)上方滑动设有载台(5)，所述载台定位机构(4)与载台(5)连接并驱动载台(5)水平移动，所述纠错机构包括纠错视觉机构(501)和纠错执行机构(502)，所述载台(5)上端面设有掩膜板固定气缸(8)。

2.根据权利要求1所述的压电晶体元器件掩膜板盖板机，其特征在于：所述载台定位机构(4)包括固定设于设备机架(1)上端面的定位气缸，所述定位气缸的活塞端与载台(5)驱动连接。

3.根据权利要求1所述的压电晶体元器件掩膜板盖板机，其特征在于：所述纠错视觉机构(501)采用CCD相机，对掩膜板上插入的晶片取像并判断是否需要对晶片进行纠错或剔除。

4.根据权利要求3所述的压电晶体元器件掩膜板盖板机，其特征在于：所述纠错执行机构(502)采用吸嘴，对需要纠错或剔除的晶片进行处理。

5.根据权利要求1所述的压电晶体元器件掩膜板盖板机，其特征在于：所述UP Mask板盖板机构(6)采用矩阵式吸盘吸取UP Mask板并盖装。

6.根据权利要求1所述的压电晶体元器件掩膜板盖板机，其特征在于：所述Mask上盖板盖板机构(7)采用电磁铁和抓钩吸取Mask上盖板并盖装。