[发明专利]压电晶体元器件掩膜板盖板机

说明书

本发明公开了压电晶体元器件掩膜板盖板机，包括设备机架，所述设备机架上端面一侧依次设有上料机构、载台输送机构、载台定位机构、纠错机构、UP Mask板盖板机构和Mask上盖板盖板机构，所述上料机构包括升降模组和固定设于升降模组底部的提篮料仓，所述载台输送机构上方滑动设有载台，所述载台定位机构与载台连接并驱动载台水平移动，所述纠错机构包括纠错视觉机构和纠错执行机构，所述载台上端面设有掩膜板固定气缸，本发明与现有技术相比的优点在于：本发明的直线移动均采用直线模组驱动，盖板工位主运动采用直线电机驱动以保证精度，载具的定位台采用气缸定位，使盖板工序执行时定位准确。

技术领域

本发明涉及掩膜板盖板装置技术领域，具体是指压电晶体元器件掩膜板盖板机。

背景技术

掩膜板是光刻机的重要组成部分，其特性对光刻效果的影响显著。压电晶体元器件掩膜板盖板机，该设备是完成晶片前道工艺中的UPMask板和Mask上盖板的盖板工艺所必须的设备，目前市场上的压电晶体元器件掩膜板盖板机，控制精度差，盖板工序执行时定位不准确。

发明内容

本发明针对上述问题，提供一种压电晶体元器件掩膜板盖板机，目的在于提高控制精度和使盖板工序执行时定位更准确。

为解决上述技术问题，本发明提供的技术方案为：压电晶体元器件掩膜板盖板机，包括设备机架，所述设备机架上端面一侧依次设有上料机构、载台输送机构、载台定位机构、纠错机构、UP Mask板盖板机构和Mask上盖板盖板机构，所述上料机构包括升降模组和固定设于升降模组底部的提篮料仓，所述载台输送机构上方滑动设有载台，所述载台定位机构与载台连接并驱动载台水平移动，所述纠错机构包括纠错视觉机构和纠错执行机构，所述载台上端面设有掩膜板固定气缸。

进一步地，所述载台定位机构包括固定设于设备机架上端面的定位气缸，所述定位气缸的活塞端与载台驱动连接。

进一步地，所述纠错视觉机构采用CCD相机，对掩膜板上插入的晶片取像并判断是否需要对晶片进行纠错或剔除。

进一步地，所述纠错执行机构采用吸嘴，对需要纠错或剔除的晶片进行处理。

进一步地，所述UP Mask板盖板机构采用矩阵式吸盘吸取UP Mask板并盖装。

进一步地，所述Mask上盖板盖板机构采用电磁铁和抓钩吸取Mask上盖板并盖装。

本发明与现有技术相比的优点在于：本发明的直线移动均采用直线模组驱动，盖板工位主运动采用直线电机驱动以保证精度，载具的定位台采用气缸定位，使盖板工序执行时定位准确。

附图说明

图1为本发明压电晶体元器件掩膜板盖板机的俯视结构示意图。

如图所示：1、设备机架；2、上料机构；3、载台输送机构；4、载台定位机构；5、载台；6、UP Mask板盖板机构；7、Mask上盖板盖板机构；201、升降模组；202、提篮料仓；501、纠错视觉机构；502、纠错执行机构；8、固定气缸。

具体实施方式

下面结合附图对本发明做进一步的详细说明。

实施例

如图所示，压电晶体元器件掩膜板盖板机，包括设备机架1，所述设备机架1上端面一侧依次设有上料机构2、载台输送机构3、载台定位机构4、纠错机构、UP Mask板盖板机构6和Mask上盖板盖板机构7，所述上料机构2包括升降模组201和固定设于升降模组底部的提篮料仓202，所述载台输送机构3上方滑动设有载台5，所述载台定位机构4与载台5连接并驱动载台5水平移动，所述纠错机构包括纠错视觉机构501和纠错执行机构502，所述载台5上端面设有掩膜板固定气缸8。