[发明专利]一种光刻胶供给装置

权利要求书

1.一种光刻胶供给装置，其特征在于，包括：

至少两组供给胶瓶；

胶空传感器，用于检测所述供给胶瓶中的光刻胶的充斥量；

至少两组前端缓存瓶，分别基于入口连通所述供给胶瓶，用于暂存所述光刻胶；

转换装置，与所述胶空传感器电连接，入口连通各所述前端缓存瓶连通，用于选择至少一个所述前端缓存瓶向光刻胶喷头处供胶。

2.根据权利要求1所述的光刻胶供给装置，其特征在于，所述胶空传感器为一组以上，各所述胶空传感器分别检测各所述供给胶瓶中的光刻胶的充斥量。

3.根据权利要求1所述的光刻胶供给装置，其特征在于，所述转换装置与光刻胶泵之间设置有后端缓存瓶。

4.根据权利要求3所述的光刻胶供给装置，其特征在于，所述转换装置包括：

自动供给面板，连接各所述胶空传感器，在至少一个所述供给胶瓶为空时产生切换信号；

切换阀，设置有至少两组阀门入口以及至少一组阀门出口，基于各阀门入口分别连接各所述前端缓存瓶，出口连通所述后端缓存瓶；

电磁阀，基于所述切换信号产生动作带动所述切换阀，使所述阀门出口与连接非空的所述供给胶瓶的阀门入口连通。

5.根据权利要求4所述的光刻胶供给装置，其特征在于，所述转换装置与所述光刻胶喷头之间设置有光刻胶泵以及过滤器；所述过滤器设置在所述光刻胶泵的下游。

6.根据权利要求4所述的光刻胶供给装置，其特征在于，所述自动供给面板上设置有显示部；所述显示部用于显示向所述光刻胶喷头供胶的所述供给胶瓶的编号。

7.根据权利要求6所述的光刻胶供给装置，其特征在于，所述显示部上设置有指示灯，所述显示部基于所述指示灯显示向所述光刻胶喷头供胶的所述供给胶瓶的编号。