[发明专利]一种静电消除器及电极探针的清洁判断方法在审

专利信息
申请号: 202211103495.1 申请日: 2022-09-09
公开(公告)号: CN116193692A 公开(公告)日: 2023-05-30
发明(设计)人: 徐力;徐永诚;周顺平 申请(专利权)人: 上海至纯洁净系统科技股份有限公司;上海至纯精密制造有限公司
主分类号: H05F3/04 分类号: H05F3/04;H01T23/00
代理公司: 北京沁优知识产权代理有限公司 11684 代理人: 林捷达
地址: 200000 *** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 静电 消除 电极 探针 清洁 判断 方法
【权利要求书】:

1.一种静电消除器,其特征在于:包括气道芯(1)、电极探针(2)和探针座(3),所述气道芯(1)连接有基座(4),所述探针座(3)与气道芯(1)连通,所述探针座(3)内设置有固定座(5),所述电极探针(2)设置在固定座(5)上,固定座(5)通过固定组件(6)将电极探针(2)固定在固定座(5)上,所述固定座(5)开设有微气道(7),气流通过所述微气道(7)进入到探针的表面;

所述探针座(3)的横截面为圆环形,所述探针座(3)连接有两个以上的凸缘(8),所述基座(4)的横截面呈圆环形,所述基座(4)的内表面设置有两个以上的缺口(9),每个所述缺口(9)的同一侧均连通有卡槽(10),每个所述凸缘(8)的位置与缺口(9)相适配,所述凸缘(8)可通过缺口(9)进入到卡槽(10)中。

2.根据权利要求1所述的一种静电消除器,其特征在于:所述基座(4)一体设置有内环(11),所述缺口(9)和卡槽(10)均设置在内环(11)上,所述探针座(3)一体设置有外环(12),所述探针座(3)套设有密封圈(13),所述密封圈(13)具有弹性,所述密封圈(13)设置在内环(11)和外环(12)之间。

3.根据权利要求1所述的一种静电消除器,其特征在于:所述凸缘(8)沿探针座(3)的圆心轴对称设置。

4.根据权利要求1所述的一种静电消除器,其特征在于:所述固定组件(6)包括固定筒(61),所述固定座(5)开设有凹槽,所述固定筒(61)的一端置于凹槽中,所述电极探针(2)位于固定座(5)外的一部分置于固定筒(61)中并与固定筒(61)接触,所述固定筒(61)远离固定座(5)的一端设置有连电件(62)。

5.根据权利要求4所述的一种静电消除器,其特征在于:所述连电件(62)包括连接弹簧(621)和抵触罩(622),所述连接弹簧(621)设置在固定筒(61)内,所述连接弹簧(621)的一端通过第一连接环(623)与固定筒(61)连接,所述连接弹簧(621)远离第一连接环(623)的一端通过第二连接环(624)与抵触罩(622)连接,所述固定筒(61)远离固定座(5)的一端连接有抵触环,所述第二连接环(624)在连接弹簧(621)的作用下与抵触环相抵触,所述气道芯(1)内设置有金属板,当所述凸缘(8)进入到卡槽(10)中后,所述抵触罩(622)与金属板相抵触。

6.根据权利要求1所述的一种静电消除器,其特征在于:所述探针座(3)沿周向设置有圆柱转动件(17),所述圆柱转动件(17)有四个,四个所述圆柱转动件(17)均匀设置在探针座(3)的周围。

7.根据权利要求4所述的一种静电消除器,其特征在于:还包括固定柱(14),所述固定柱(14)沿轴向开设有固定孔,所述固定筒(61)穿过固定孔,所述固定柱(14)用于对固定筒(61)进行固定,所述固定柱(14)的侧面开设有限位槽(15),所述探针座(3)的内侧壁一体设置有限位块(16),所述限位块(16)可置于限位槽(15)中。

8.一种电极探针的清洁判断方法,其特征在于:包括清洁指数计算周期tc,在一个清洁指数计算周期tc之内,可存在1~n次不同的参数设定;

包括S1:获取第n次设定参数之后运行的参数值;

第n次设定的正高压脉冲的电压幅值,Upn;

第n次设定的正高压脉冲的单个脉宽值,Tpn;

第n次设定的负高压脉冲的电压幅值,Ugn;

第n次设定的负高压脉冲的单个脉宽值,Tgn;

第n次设定的正负高压脉冲的频率值,Fn;

第n次设定参数之后运行的时间值,tn;

S2:根据上述数值计算电极探针(2)的电能值:

En=((Upn×Tpn)+(Ugn×Tgn))×(fn)×tn

S3:计算出在一个清洁指数计算周期tc之内,累计的运行电能值ΔE,

ΔE=ΣEn,(n=1,2...n)

S4:计算得到标准电能值,Es

标准电能值=标准参数下的电能值×持续区间的运行时间

Es=((1/f)×50%×7kv+(1/f)×50%×7kv)×f×(60×24×3600)=3.6288×107(s·kv),

1/f为一个脉冲周期,

脉冲高压的幅值,为正负相同的7kv;

S5:计算出综合的清洁指数Ce

Ce=(1-ΔE/Es)×100%=(1-(Σ(((Upn×Tpn)+(Ugn×Tgn))×(fn)×tn))/Es)×100%。

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