[发明专利]一种静电消除器及电极探针的清洁判断方法

说明书

本发明公开了一种静电消除器，包括气道芯、电极探针和探针座，气道芯连接有基座，探针座与气道芯连通，探针座内设置有固定座，电极探针设置在固定座上，固定座通过固定组件将电极探针固定在固定座上，固定座开设有微气道，探针座的横截面为圆环形，探针座连接有两个以上的凸缘，基座的内表面设置有两个以上的缺口，每个缺口的同一侧均连通有卡槽，凸缘可通过缺口进入到卡槽中，便于对电极探针的更换，同时，旋转卡接的方式使得探针座与气道芯基座连接更加紧密，提高了装置的密闭性，减少了气流的溢出，从而提高了装置的静电消除效率。本发明提供的一种电极探针的清洁判断方法可根据电压的高低及时对电极探针进行清洁，提高了电极探针的精度。

技术领域

本申请涉及静电消除器的领域，尤其是涉及一种静电消除器及电极探针的清洁判断方法。

背景技术

在电子元件制造领域，静电往往会由于接触和摩擦等原因形成于电子元件的表面上，而形成的静电会对灰尘等细小颗粒产生吸引力，使其吸附于电子元件的表面，对其产生污染。然而，不少工艺对洁净程度要求较高，如微影和蚀刻等半导体加工工艺。此外，当静电累计到一定量之后，便会产生静电放电，对电子元件造成损坏，因此，有必要对电子元件进行静电消除。静电消除器的原理是，电极探针接入脉冲高压后，电离空气，并产生正负离子，投射到被消物件上，中和静电，起到静电消除的效果。

静电消除器经过一定时间使用之后，电极探针的表面，会产生氧化、钝化、损伤等情况，进而会影响静电消除的使用效果，因此，需要对电极清洁或更换。

发明内容

为了便于及时对静电消除器进行清洁或更换，本申请提供一种静电消除器及清洁评判方法。

第一方面，本申请提供的一种静电消除器采用如下的技术方案：

一种静电消除器，包括气道芯、电极探针和探针座，所述气道芯连接有基座，所述探针座与气道芯连通，所述探针座内设置有固定座，所述电极探针设置在固定座上，固定座通过固定组件将电极探针固定在固定座上，所述固定座开设有微气道，气流通过所述微气道进入到探针的表面；

所述探针座的横截面为圆环形，所述探针座连接有两个以上的凸缘，所述基座的横截面呈圆环形，所述基座的内表面设置有两个以上的缺口，每个所述缺口的同一侧均连通有卡槽，每个所述凸缘的位置与缺口相适配，所述凸缘可通过缺口进入到卡槽中。

通过采用上述技术方案，当电极探针发生氧化、钝化、损伤等情况需要对电极探针进行更换时，转动探针座，从而将装有电极探针的探针座与与气道芯分离，便于对电极探针的更换，同时，旋转卡接的方式使得探针座与气道芯基座连接更加紧密，提高了装置的密闭性，减少了气流的溢出，从而提高了装置的静电消除效率。

可选的，所述基座一体设置有内环，所述缺口和卡槽均设置在内环上，所述探针座一体设置有外环，所述探针座套设有密封圈，所述密封圈具有弹性，所述密封圈设置在内环和外环之间。

通过采用上述技术方案，密封圈可以对气流起到密封作用，同时利用硅胶材料的弹性，在轴向产生预紧力，并在圆周方向增大摩擦力，用以防止探针座与基座之间，不易自然松动而脱开，使得探针座与基座连接更加牢固。

可选的，所述凸缘沿探针座的圆心轴对称设置。

通过采用上述技术方案，转动一定角度即可将探针座固定在基座上。

可选的，所述固定组件包括固定筒，所述固定座开设有凹槽，所述固定筒的一端置于凹槽中，所述电极探针位于固定座外的一部分置于固定筒中并与固定筒接触，所述固定筒远离固定座的一端设置有连电件。

通过采用上述技术方案，固定筒对电极探针进行固定，同时连电件将气道芯中的电流通过固定筒传递给电极探针。