[发明专利]衬底支撑件、光刻设备和装载方法

权利要求书

1.一种用于支撑衬底的衬底支撑件，包括：

本体，包括用于支撑所述衬底的支撑表面；

真空夹紧系统，被配置为提供夹紧力以将所述衬底夹紧在所述支撑表面上；

处理装置，被布置用于将所述衬底装载到所述支撑表面上以及/或者被布置用于从所述支撑表面卸载所述衬底；以及

抖动装置，

其中所述抖动装置被布置为在从所述支撑表面卸载所述衬底时抖动所述夹紧力；并且

所述真空夹紧系统包括用于从所述支撑表面向真空源输送流的真空导管，并且其中所述抖动装置被布置为改变所述真空导管的截面。

2.一种用于支撑衬底的衬底支撑件，包括：

本体，包括用于支撑所述衬底的支撑表面；

真空夹紧系统，被配置为提供夹紧力用以将所述衬底夹紧在所述支撑表面上；

处理装置，被布置用于将所述衬底装载到所述支撑表面上以及/或者被布置用于从所述支撑表面卸载所述衬底；以及

抖动装置，

其中所述抖动装置被布置为在从所述支撑表面卸载所述衬底时抖动所述夹紧力；

所述抖动装置被配置为施加压力波；并且

所述压力波在所述真空夹紧系统的真空导管中和/或在流经冷却系统回路或热调节系统的流体中产生。

3.根据权利要求2所述的衬底支撑件，其中所述抖动装置包括被配置为产生所述压力波的扬声器系统。

4.根据权利要求3所述的衬底支撑件，其中所述扬声器系统被布置在所述衬底上方，使得所述压力波被发射到所述衬底的顶侧上，以使所述衬底振动，以及/或者所述扬声器系统被布置在所述真空夹紧系统的真空导管中。

5.一种用于支撑衬底的衬底支撑件，所述衬底支撑件包括：

本体，包括被配置为支撑所述衬底的支撑表面；

夹紧装置，被配置为提供夹紧力用以将所述衬底夹紧在所述支撑表面上；以及

抖动装置，被配置为抖动由所述夹紧装置施加的夹紧力的量，同时通过处理装置、销或其他结构使所述衬底与至少所述支撑表面不接触，

其中所述抖动装置被配置为抖动由所述夹紧装置提供的流体压力，以产生冲击所述衬底的波动气体压力，从而在所述衬底不与所述支撑表面接触时引起所述衬底的振动；或者抖动由所述夹紧装置提供的静电荷，从而在所述衬底和所述夹紧装置之间产生波动静电荷，以在所述衬底不与所述支撑表面接触时引起所述衬底的振动。

6.根据权利要求5所述的衬底支撑件，其中所述夹紧装置包括真空夹紧系统，其中所述夹紧力包括由所述真空夹紧系统提供的真空力，并且其中所述抖动装置被布置为抖动所述真空力。

7.根据权利要求6所述的衬底支撑件，其中所述夹紧装置包括静电夹具，其中所述夹紧力包括由所述静电夹具提供的静电力，并且其中所述抖动装置被布置为抖动所述静电力。

8.根据权利要求7所述的衬底支撑件，其中所述抖动装置被布置为生成信号，并且其中所述静电夹具被配置为基于所述信号来提供所述静电夹紧力。

9.根据权利要求5至8中任一项所述的衬底支撑件，其中所述抖动装置被配置为在所述夹紧力从零增大到最大夹紧力的时段期间抖动所述夹紧力。

10.一种光刻设备，包括根据权利要求1至9中任一项所述的衬底支撑件。