[发明专利]衬底支撑件、光刻设备和装载方法

说明书

本发明涉及一种用于支撑衬底(W)的衬底支撑件(WT)。衬底支撑件包括主体(MB)、夹紧装置(VC；VSO)和抖动装置(DD)。主体包括用于支撑衬底(W)的支撑表面(S)。夹紧装置被布置为提供夹紧力以将衬底夹紧在支撑表面上。抖动装置被配置为抖动夹紧力。抖动装置可以被配置为在衬底W被装载到支撑表面上时抖动夹紧力。

分案说明

本申请是于2017年03月21日提交的申请号为201780024569.3、名称为“衬底支撑件、光刻设备和装载方法”的中国发明专利申请的分案申请。

相关申请的交叉引用

本申请要求于2016年4月20日提交的EP申请16166176.4的优先权，该申请通过引用整体并入本文。

技术领域

本发明涉及衬底支撑件、光刻设备和装载方法。

背景技术

光刻设备是一种将期望图案施加到衬底上、通常施加到衬底的目标部分上的机器。例如，光刻设备可以用于制造集成电路(IC)。在这种情况下，可以使用图案化装置(可选地称为掩模或掩模版)来生成要形成在IC的单个层上的电路图案。该图案可以转移到衬底(例如，硅晶片)上的目标部分(例如，包括一个或几个管芯的部分)上。图案的转移通常经由到设置在衬底上的辐射敏感材料(抗蚀剂)层上的成像来进行。通常，单个衬底将包含连续地图案化的相邻目标部分的网络。传统的光刻设备包括所谓的步进器和所谓的扫描仪，在步进器中，通过一次将整个图案曝光到目标部分上来照射每个目标部分，在扫描仪中，通过在给定方向(“扫描”方向)上通过辐射束扫描图案同时在与该方向平行或反平行的方向上扫描衬底来照射每个目标部分。还可以通过将图案压印到衬底上来将图案从图案化装置转移到衬底。

在光刻设备的已知实施例中，通过机器人将衬底装载在衬底支撑件的支撑表面上，衬底支撑件在衬底的底侧处保持衬底。为了能够在基本上水平的支撑表面上装载衬底，在衬底台中提供三个装载销，也称为e销。装载销可以在伸出位置与缩回位置之间移动，在伸出位置，装载销的上端延伸到衬底台上方，在缩回位置，装载销的上端缩回到衬底台中。

在将衬底装载到衬底台上的过程中，机器人将衬底装载在处于伸出位置的三个装载销上。由于衬底将被容纳在延伸到支撑表面上方的装载销上，因此机器人可以被撤回，将衬底留在装载销上。

然后，装载销可以移动到缩回位置以将衬底放置在支撑表面上。支撑表面由设置在衬底台的主体上并且从衬底台的主体延伸的多个突节的上端限定。

衬底在装载序列期间的形状由以下因素限定：当被支撑在装载销上时衬底的重力下垂和可以例如由于先前的处理步骤而翘曲的衬底本身的形状等。一旦装载在支撑表面上，操纵最终衬底形状的自由度有限。

结果，在装载期间，衬底的不同部分通常将在不同时刻接触支撑表面的突节。在衬底初始接触一个或多个突节与衬底完全由突节支撑之间的时间段内，衬底的形状从初始形状(由衬底在重力下仅由三个装载销支撑而引起)改变为在由多个突节支撑时的最终形状。通常，在该时间段期间，衬底的一些部分、特别是其外边缘应当在突节上滑动，以使衬底以最佳的扁平形状布置在支撑表面上。

此外，当衬底至少部分支撑在支撑表面上时，衬底可以夹紧在支撑表面上，例如通过真空夹具或静电夹具。真空力或静电力将使支撑表面上的不平坦的翘曲衬底变平并且将其向下拉到突节上。这种在支撑表面上向拉下衬底也应当导致衬底在支撑表面的突节上滑动，以使得衬底能够基本上以最佳的扁平形状布置在支撑表面上。

为了便于衬底在突节上滑动，有利的是使突节的摩擦力尽可能低。然而，这将导致在图案化光束在衬底上的投射期间衬底相对容易地在衬底支撑件上滑动，特别是因为衬底支撑件和支撑在其上的衬底在投射过程中经受高的加速度和减速度。因此，不期望衬底支撑件、特别是突节的摩擦力降低而促进衬底在突节上滑动。