[发明专利]一种具有实现批量镀膜的夹具工装的镀膜装置

权利要求书

1.一种具有实现批量镀膜的夹具工装的镀膜装置，其特征在于，具备：

底座(1)，其上表面用于放置传感器基底；

钼片(2)，其设置在所述底座(1)上，并用于贴合所述底座(1)上传感器基底的顶端，并在所述钼片(2)覆盖传感器基底的区域开设缝隙；

盖板(3)，其贴合在所述钼片(2)的上表面，并开在传感器基底正上方的区域开设通槽；

水平调整组件(4)，其设置在所述底座(1)的内部，并能够调整位于所述底座(1)内部的水平位置；

多个定位组件(5)，其皆固定连接在所述水平调整组件(4)上，并依次穿过所述底座(1)和所述钼片(2)与所述盖板(3)连接；

所述水平调整组件(4)能够通过多个所述定位组件(5)调整所述钼片(2)在所述底座(1)顶端的位置。

2.根据权利要求1所述的一种具有实现批量镀膜的夹具工装的镀膜装置，其特征在于，

所述底座(1)包括上底座(11)和下底座(12)，并在所述上底座(11)和所述下底座(12)之间设有四个支撑件(13)；

所述上底座(11)位于所述下底座(12)的正上方，四个所述支撑件(13)分别位于所述上底座(11)和所述下底座(12)的四角处，所述上底座(11)和所述下底座(12)通过四个所述支撑件(13)连接为一体结构；

其中，在任意两个相邻的所述支撑件(13)之间形成用于连接所述水平调整组件(4)的活动空间。

3.根据权利要求2所述的一种具有实现批量镀膜的夹具工装的镀膜装置，其特征在于，

所述上底座(11)上开设有多个用于放入传感器基底的条形凹槽(111)，所述上底座(11)上设有多个用于供所述定位组件(5)穿过的圆孔(112)；

所述圆孔(112)的内径大于所述定位组件(5)的直径，多个所述圆孔(112)均匀分布在多个所述条形凹槽(111)的外侧。

所述条形凹槽(111)的深度小于传感器基底的厚度。

4.根据权利要求2所述的一种具有实现批量镀膜的夹具工装的镀膜装置，其特征在于，

所述下底座(12)上设有两个第一滑轨(121)和两个第二滑轨(122)，两个所述第一滑轨(121)分别位于所述下底座(12)的左右两侧的活动空间，并且所述第一滑轨(121)的两端分别朝向两个相邻的所述支撑件(13)，两个所述第二滑轨(122)分别位于所述下底座(12)的前后两侧的活动空间，并且所述第二滑轨(122)的两端分别朝向两个相邻的所述支撑件(13)。

5.根据权利要求3所述的一种具有实现批量镀膜的夹具工装的镀膜装置，其特征在于，

所述钼片(2)上开设有多个用于供所述定位组件(5)穿过的定位孔(21)，在所述钼片(2)上位于所述条形凹槽(111)正上方的区域开设有多个镀膜缝(22)；

其中，多个所述定位孔(21)与多个所述定位组件(5)一一对应，所述定位孔(21)的内径与所述定位组件(5)的直径相等。

6.根据权利要求3所述的一种具有实现批量镀膜的夹具工装的镀膜装置，其特征在于，

所述盖板(3)上设有多个用于连接所述定位组件(5)的定位件(31)，在所述盖板(3)上位于所述条形凹槽(111)的正上方开设有镀膜槽(32)；

所述定位件(31)的内部设有用于供所述定位组件(5)伸入的内腔(311)，并在所述定位件(31)的顶端中心位置开设有螺栓孔(312)，所述螺栓孔(312)的内部设有能够与所述定位组件(5)顶端通过螺纹连接的固定螺栓(313)。