[发明专利]一种自动修复石英坩埚外径的装置

权利要求书

1.一种自动修复石英坩埚外径的装置，其特征在于：包括：

限位承载组件(2)，其上预限位放置有待修复的石英坩埚；

传送装置(1)，用于间隔传送所述限位承载组件(2)；

三维驱动组件(3)，其具有一三维驱动端；

沿传送装置(1)传送方向分布的两个微进给驱动组件(4)，且自前向后依次为第二微进给驱动组件和第一微进给驱动组件，所述第二微进给驱动组件和第一微进给驱动组件固定于所述三维驱动端上；以及

第一角磨机(5)和第二角磨机(6)，其中所述第一角磨机(5)固定于第一微进给驱动组件的输出端，所述第二角磨机(6)固定于第二微进给驱动组件的输出端，且对石英坩埚的外径进行打磨修复时，先利用所述第一角磨机(5)进行一次初步打磨和测量，之后再利用第二角磨机(6)进行逐步打磨。

2.根据权利要求1所述的一种自动修复石英坩埚外径的装置，其特征在于：所述第一角磨机(5)包括第一安装座(51)，所述第一安装座(51)上沿X向滑动设置有第一臂体(52)，所述第一臂体(52)与第一安装座(51)之间还连接有缓冲弹簧(54)，所述第一臂体(52)的下方绕Y轴转动连接有第一角磨头(53)；

对石英坩埚的外径进行打磨修复时，所述第一角磨机(5)由第一微进给驱动组件(4)所驱动进行一次进给，且使得第一角磨头(53)的打磨表面与标准石英坩埚外径在同一圆周上；

所述第一安装座(51)与缓冲弹簧(54)连接处还设置有压力传感器。

3.根据权利要求2所述的一种自动修复石英坩埚外径的装置，其特征在于：所述第二角磨机(6)包括第二安装座(61)，所述第二安装座(61)上固定有第二臂体(62)，所述第二臂体(62)的下方绕Y轴转动连接有第二角磨头(63)；

对石英坩埚的外径进行打磨修复时，所述第二角磨机(6)由所述第二微进给驱动组件所驱动进行逐步进给。

4.根据权利要求3所述的一种自动修复石英坩埚外径的装置，其特征在于：还包括控制器，所述控制器能够控制第一微进给驱动组件、第二微进给驱动组件、第一角磨机以及第二角磨机，且所述控制器被配置为：能够根据压力传感器的所检测的压力强度变化，设置第二微进给驱动组件驱动第二角磨机逐步进给的初始位置和进给速度。

5.根据权利要求1所述的一种自动修复石英坩埚外径的装置，其特征在于：所述三维驱动组件(3)包括高度调节丝杠(31)，其具有一沿Z向移动的Z向移动端，Z向移动端上固定有横向调节丝杠(32)，所述横向调节丝杠(32)具有一沿X向移动的X向移动端，X向移动端上固定有纵向调节丝杠(33)，所述纵向调节丝杠(33)具有一沿Y向移动的Y向移动端，所述Y向移动端作为所述三维驱动组件(3)的三维驱动端。

6.根据权利要求1所述的一种自动修复石英坩埚外径的装置，其特征在于：所述第一角磨机(5)和第二角磨机(6)的一侧均设置有转动驱动组件(7)，所述转动驱动组件(7)能够驱动相应的石英坩埚在限位承载组件(2)中进行自转，所述转动驱动组件(7)包括动力仓(71)，所述动力仓(71)的底部周向均匀分布有三个径向调节机构(72)，所述径向调节机构(72)具有一径向调节端，所述径向调节端固定有驱动臂(73)，所述驱动臂(73)上转动设置有驱动辊(74)，所述驱动辊(74)具有转动动力。

7.根据权利要求1所述的一种自动修复石英坩埚外径的装置，其特征在于：所述传送装置(1)包括对称设置有传送座(11)，所述传送座(11)上转动设置有多个具有动力的驱动轮(12)，同一传送座(11)上的多个驱动轮(12)共同支撑且传动连接有传送带(13)，两个传送带(13)共同支撑所述限位承载组件(2)。

8.根据权利要求7所述的一种自动修复石英坩埚外径的装置，其特征在于：两个传送座(11)之间的间隙中固定有两个分别对应于第一角磨机(5)、第二角磨机(6)的定位缸(14)，所述定位缸(14)的输出端固定有定位板(15)，所述定位板(15)能够对所述限位承载组件(2)进行限位。