[发明专利]一种自动修复石英坩埚外径的装置在审
申请号: | 202211127736.6 | 申请日: | 2022-09-16 |
公开(公告)号: | CN115383566A | 公开(公告)日: | 2022-11-25 |
发明(设计)人: | 杜兴林;韩君勇;马俊飞;董成官;毛磊;郭建伟;翟冲宇 | 申请(专利权)人: | 宁夏欧晶科技有限公司 |
主分类号: | B24B19/00 | 分类号: | B24B19/00;B24B27/00;B24B47/12;B24B47/22 |
代理公司: | 内蒙古欣洋瑞专利代理有限公司 15110 | 代理人: | 陈冠霖 |
地址: | 750021 宁夏回族自治区银川市西夏区经开*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 自动 修复 石英 坩埚 外径 装置 | ||
本发明公开了一种自动修复石英坩埚外径的装置,包括:限位承载组件,其上预限位放置有待修复的石英坩埚;传送装置,用于间隔传送所述限位承载组件;三维驱动组件,其具有一三维驱动端;沿传送装置传送方向分布的两个微进给驱动组件,且自前向后依次为第二微进给驱动组件和第一微进给驱动组件,所述第二微进给驱动组件和第一微进给驱动组件固定于所述三维驱动端上;以及第一角磨机和第二角磨机,其中所述第一角磨机固定于第一微进给驱动组件的输出端,所述第二角磨机固定于第二微进给驱动组件的输出端,且对石英坩埚的外径进行打磨修复时,先利用所述第一角磨机进行一次初步打磨和测量,之后再利用第二角磨机进行逐步打磨。
技术领域
本发明涉及石英坩埚修复技术领域,具体是一种自动修复石英坩埚外径的装置。
背景技术
目前石英坩埚生产工艺为电弧熔制法,即将石英砂投入到旋转的模具中,石英砂在离心力的作用下附着在模具内壁,形成石英坩埚埚坯,通过电极短路产生的电弧热将石英砂熔化,熔化一段时间,冷却出模形成坩埚,出模坩埚的外径由料层厚度、熔制电流和熔制时间来决定,由于以上生产工艺的特殊性,生产过程中会出现出模坩埚的外径大于标准坩埚外径的情况,这部分产品不符合要求无法正常使用,目前主要是使用手动研磨设备对外径进行修复,但修复效率较低,修复后产品均匀性较差,不能满足技术标准,而采用自动化研磨设备对外径进行修复时,其自动化程度往往较低,并且,难以有效应对坩埚外部凸点,导致整体研磨效率受到影响,并且角磨机容易受损。
因此,有必要提供一种自动修复石英坩埚外径的装置,以解决上述背景技术中提出的问题。
发明内容
为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种自动修复石英坩埚外径的装置,包括:
限位承载组件,其上预限位放置有待修复的石英坩埚;
传送装置,用于间隔传送所述限位承载组件;
三维驱动组件,其具有一三维驱动端;
沿传送装置传送方向分布的两个微进给驱动组件,且自前向后依次为第二微进给驱动组件和第一微进给驱动组件,所述第二微进给驱动组件和第一微进给驱动组件固定于所述三维驱动端上;以及
第一角磨机和第二角磨机,其中所述第一角磨机固定于第一微进给驱动组件的输出端,所述第二角磨机固定于第二微进给驱动组件的输出端,且对石英坩埚的外径进行打磨修复时,先利用所述第一角磨机进行一次初步打磨和测量,之后再利用第二角磨机进行逐步打磨。
进一步,作为优选,所述第一角磨机包括第一安装座,所述第一安装座上沿X向滑动设置有第一臂体,所述第一臂体与第一安装座之间还连接有缓冲弹簧,所述第一臂体的下方绕Y轴转动连接有第一角磨头;
对石英坩埚的外径进行打磨修复时,所述第一角磨机由第一微进给驱动组件所驱动进行一次进给,且使得第一角磨头的打磨表面与标准石英坩埚外径在同一圆周上;
所述第一安装座与缓冲弹簧连接处还设置有压力传感器。
进一步,作为优选,所述第二角磨机包括第二安装座,所述第二安装座上固定有第二臂体,所述第二臂体的下方绕Y轴转动连接有第二角磨头;
对石英坩埚的外径进行打磨修复时,所述第二角磨机由所述第二微进给驱动组件所驱动进行逐步进给。
进一步,作为优选,还包括控制器,所述控制器能够控制第一微进给驱动组件、第二微进给驱动组件、第一角磨机以及第二角磨机,且所述控制器被配置为:能够根据压力传感器的所检测的压力强度变化,设置第二微进给驱动组件驱动第二角磨机逐步进给的初始位置和进给速度。
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