[发明专利]一种DI曝光机的LED光学设备

权利要求书

1.一种DI曝光机的LED光学设备，其特征在于，包括：

多组光刻设备(1)，多组所述光刻设备(1)相互连接呈直线状分布，多组所述光刻设备(1)上均固定连接有两组成像镜头(2)，两组所述成像镜头(2)对称分布于所述光刻设备(1)的两侧，所述成像镜头(2)的侧面固定连接有近紫外LED发光源设备(3)；

还包括：

转动装置(4)，所述转动装置(4)安装于曝光机机体上，用于带动所述光刻设备(1)转动180°实现对两组所述成像镜头(2)之间的切换；

感温装置(5)，所述感温装置(5)安装于所述光刻设备(1)上，用于感知所述成像镜头(2)的温度，并在温度变化时联动所述转动装置(4)进行蓄力并在达到设定温度后解除蓄力限位触发所述转动装置(4)的转动；

切换装置(6)，所述切换装置(6)安装于所述成像镜头(2)内，用于根据两组所述成像镜头(2)的位置自动切换两组所述成像镜头(2)的工作状态。

2.根据权利要求1所述的一种DI曝光机的LED光学设备，其特征在于：所述切换装置(6)包括多组固定安装于曝光机机体上的安装环(7)，所述安装环(7)的底部开设有用于防止阻挡所述成像镜头(2)曝光运行的开口(8)，所述近紫外LED发光源设备(3)上固定连接有与所述安装环(7)滑动连接的滑轨(9)，所述安装环(7)用于通过所述滑轨(9)和所述近紫外LED发光源设备(3)来与所述光刻设备(1)进行电信号连接和导热散热，所述成像镜头(2)上开设有成像管(10)，所述成像管(10)的侧面开设有与所述成像管(10)相连通的斜管(11)，所述斜管(11)内滚动连接用滚珠(12)，所述斜管(11)的内径大于所述成像管(10)的内径。

3.根据权利要求2所述的一种DI曝光机的LED光学设备，其特征在于：所述感温装置(5)包括固定安装于所述光刻设备(1)上的装置盒(13)，所述装置盒(13)内滑动连接有升降块(14)，所述升降块(14)的上下两侧均固定连接有与所述装置盒(13)内壁滑动连接的波纹管(15)，所述波纹管(15)的一端与所述装置盒(13)固定连接，所述波纹管(15)内用于储存受热膨胀液体，所述升降块(14)上设有用于在所述升降块(14)移动式驱动所述转动件进行蓄力的蓄力件(16)。

4.根据权利要求3所述的一种DI曝光机的LED光学设备，其特征在于：所述转动装置(4)包括固定安装于所述固定环(23)上的安装架(17)，所述安装架(17)上固定连接有固定盘(18)，所述固定盘(18)上转动连接有驱动轴(19)，所述驱动轴(19)的外壁固定连接有发条弹簧(20)，所述发条弹簧(20)固定连接有与所述装置盒(13)固定连接的转动环(21)，所述安装架(17)上设有用于对所述转动环(21)进行限位的限位件(22)，所述蓄力件(16)用于带动所述驱动轴(19)进行转动蓄力。

5.根据权利要求4所述的一种DI曝光机的LED光学设备，其特征在于：所述限位件(22)包括固定安装于所述安装架(17)上的固定环(23)，所述固定环(23)上固定连接有安装盒(24)，所述安装盒(24)内固定连接有第一弹簧(25)，所述第一弹簧(25)固定连接有与所述安装盒(24)滑动连接的卡接块(26)，所述转动环(21)上开设有两组与所述卡接块(26)相卡接的卡接槽(27)，所述装置盒(13)的两端均固定连接有与所述固定环(23)内壁滑动连接的导向块(28)。

6.根据权利要求5所述的一种DI曝光机的LED光学设备，其特征在于：所述蓄力件(16)包括两组分别固定安装于所述升降块(14)两侧的固定盒(29)，两组所述固定盒(29)上均开设有滑动槽(30)，所述滑动槽(30)内滑动连接有滑动块(31)，所述滑动块(31)上固定连接有齿条(32)，所述驱动轴(19)上同轴固定连接有齿轮(33)，所述齿条(32)与所述齿轮(33)相啮合，所述滑动块(31)上设有用于切换两侧所述齿条(32)与所述齿轮(33)啮合关系的切换件(34)，所述齿条(32)上设有用于在所述升降块(14)移动到设定位置后触发解除所述卡接块(26)对所述卡接槽(27)卡接状态的解除件(35)。