[发明专利]一种DI曝光机的LED光学设备在审

专利信息
申请号: 202211128635.0 申请日: 2022-09-16
公开(公告)号: CN115421358A 公开(公告)日: 2022-12-02
发明(设计)人: 岳长来 申请(专利权)人: 深圳和美精艺半导体科技股份有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 深圳市海顺达知识产权代理有限公司 44831 代理人: 罗志伟
地址: 518000 广东省深圳市龙*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 di 曝光 led 光学 设备
【说明书】:

本发明公开了一种DI曝光机的LED光学设备,涉及DI曝光机的LED光学设备领域,解决了现有DI曝光机的LED光学设备使用时成像镜头长时间处于高强度运行状态发热严重影响使用寿命的运行效果的问题,包括转动装置、感温装置、切换装置和多组光刻设备,多组光刻设备上均固定连接有两组成像镜头,成像镜头的侧面固定连接有近紫外LED发光源设备,此DI曝光机的LED光学设备,便于通过设置两组成像镜头并通过感温装置接收两组成像镜头的温度状态,并随着一组成像镜头的运行温度升高逐渐进行蓄力,当温度达到设定温度后触发转动装置进行转动180°,提高了成像镜头的运行效率,延长了机体的使用寿命。

技术领域

本发明涉及DI曝光机的LED光学设备技术领域,具体为一种DI曝光机的LED光学设备。

背景技术

DI曝光机又叫DI直接成像曝光机,一体化的光学设备设计,DI的光学设备无需扫描整个曝光面,直接成像印刷机。紫外线曝光机是指通过开启灯光发出UVA波长的紫外线,将胶片或其他透明体上的图像信息转移到涂有感光物质的表面上的机器设备。

根据现有专利CN111610697A可知现有的DI曝光机的LED光学设备在使用时由于LED光学灯管长时间处于高强度曝光照射状态,极易产生大量的热而导致使用寿命的降低,不利于设备的长时间稳定使用,为此,我们提出一种DI曝光机的LED光学设备。

发明内容

本发明的目的在于提供一种便于切换成像镜头延长其使用寿命的DI曝光机的LED光学设备,以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种DI曝光机的LED光学设备,包括转动装置、感温装置、切换装置和多组光刻设备,多组所述光刻设备相互连接呈直线状分布,多组所述光刻设备上均固定连接有两组成像镜头,两组所述成像镜头对称分布于所述光刻设备的两侧,所述成像镜头的侧面固定连接有近紫外LED发光源设备,所述转动装置安装于曝光机机体上,用于带动所述光刻设备转动180°实现对两组所述成像镜头之间的切换,所述感温装置安装于所述光刻设备上,用于感知所述成像镜头的温度,并在温度变化时联动所述转动装置进行蓄力并在达到设定温度后解除蓄力限位触发所述转动装置的转动,所述切换装置安装于所述成像镜头内,用于根据两组所述成像镜头的位置自动切换两组所述成像镜头的工作状态,便于通过设置两组成像镜头并通过感温装置接收两组成像镜头的温度状态,并随着一组成像镜头的运行温度升高逐渐进行蓄力,当温度达到设定温度后触发转动装置进行转动180°,并自动再次限位,完成两组成像镜头之间的状态切换,同时通过切换装置使得自动令朝向向下的成像镜头处于运行状态,而处于向上的成像镜头隔绝光线传播,停止工作,该装置使用便捷无需人工操作和电机驱动即可实现自动感温蓄力和切换操,提高了成像镜头的运行效率,延长了机体的使用寿命。

优选的,所述切换装置包括多组固定安装于曝光机机体上的安装环,所述安装环的底部开设有用于防止阻挡所述成像镜头曝光运行的开口,所述近紫外LED发光源设备上固定连接有与所述安装环滑动连接的滑轨,所述安装环用于通过所述滑轨和所述近紫外LED发光源设备来与所述光刻设备进行电信号连接和导热散热,所述成像镜头上开设有成像管,所述成像管的侧面开设有与所述成像管相连通的斜管,所述斜管内滚动连接用滚珠,所述斜管的内径大于所述成像管的内径,便于切换两组成像镜头的工作状态。

优选的,所述感温装置包括固定安装于所述光刻设备上的装置盒,所述装置盒内滑动连接有升降块,所述升降块的上下两侧均固定连接有与所述装置盒内壁滑动连接的波纹管,所述波纹管的一端与所述装置盒固定连接,所述波纹管内用于储存受热膨胀液体,所述升降块上设有用于在所述升降块移动式驱动所述转动件进行蓄力的蓄力件,便于感知成像镜头的温度。

优选的,所述转动装置包括固定安装于所述固定环上的安装架,所述安装架上固定连接有固定盘,所述固定盘上转动连接有驱动轴,所述驱动轴的外壁固定连接有发条弹簧,所述发条弹簧固定连接有与所述装置盒固定连接的转动环,所述安装架上设有用于对所述转动环进行限位的限位件,所述蓄力件用于带动所述驱动轴进行转动蓄力,便于带动成像镜头进行转动。

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