[发明专利]一种CMP抛光液过滤器

权利要求书

1.一种CMP抛光液过滤器，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的表面中间位置处安装有隔板(2)，所述隔板(2)前侧的中间位置处安装有过滤箱(4)，所述过滤箱(4)一侧的隔板(2)侧面安装有滤纸放置架(6)，所述过滤箱(4)另一侧的隔板(2)侧面安装有滤纸收卷端(5)，所述滤纸放置架(6)上安装的滤纸经过过滤箱(4)到达滤纸收卷端(5)的位置处，所述过滤箱(4)内部滤纸上方的位置处安装有CMP抛光液添加端(7)。

2.根据权利要求1所述的一种CMP抛光液过滤器，其特征在于：所述底座(1)的底端分布有滚轮座(8)，所述隔板(2)后侧的底座(1)表面安装有安装箱(3)，所述安装箱(3)的内部底端安装有电控盒(27)，所述隔板(2)的前侧安装有操作面板(9)，所述操作面板(9)的内部设置有为CMP抛光液添加端(7)进行供料的物料泵。

3.根据权利要求2所述的一种CMP抛光液过滤器，其特征在于：滤纸收卷端(5)包括安装在安装箱(3)内部的隔板(2)后侧的减速机(15)，所述减速机(15)的一侧连接有电机(14)，所述减速机(15)的内部安装有主轴(16)，所述主轴(16)贯穿且延伸至隔板(2)的前侧，所述隔板(2)前侧的主轴(16)外部安装有限位盘一(17)和防脱环(18)。

4.根据权利要求2所述的一种CMP抛光液过滤器，其特征在于：所述滤纸放置架(6)包括安装在安装箱(3)内部的隔板(2)后侧的轴承座(22)，所述轴承座(22)的内部安装有副轴(23)，所述副轴(23)贯穿且延伸至隔板(2)的前侧，所述隔板(2)前侧的副轴(23)外部安装有两个限位盘二(24)。

5.根据权利要求1所述的一种CMP抛光液过滤器，其特征在于：所述滤纸收卷端(5)与过滤箱(4)以及滤纸放置架(6)与过滤箱(4)之间均设置有导向结构，且导向结构包括呈上下分布在隔板(2)前侧的两个支撑轴承(19)，所述支撑轴承(19)的内部安装有导向轴(20)，所述导向轴(20)的外部套接有两个对滤纸进行限位的防偏环(21)。

6.根据权利要求1所述的一种CMP抛光液过滤器，其特征在于：所述过滤箱(4)的两侧对应滤纸的位置处开设有卡口(11)，所述卡口(11)的内部卡接有卡板(31)，所述卡板(31)上开设有供滤纸通过的开口(32)，所述开口(32)的内壁与滤纸相切设置，且所述卡板(31)设置为橡胶结构。

7.根据权利要求6所述的一种CMP抛光液过滤器，其特征在于：所述过滤箱(4)的内部底端开设有供滤纸过滤后的CMP抛光液落下的通孔(12)，在所述通孔(12)下方的过滤箱(4)底端设置有对过滤好的抛光液进行收集的积液槽(33)，所述积液槽(33)通过管道把过滤后的抛光液输送出，所述底座(1)的表面对应通孔(12)的位置处安装有抛光液储存盒(10)。

8.根据权利要求7所述的一种CMP抛光液过滤器，其特征在于：所述防偏环(21)包括安装在过滤箱(4)内部的连接板(25)，所述连接板(25)的顶端安装有进液管(26)，所述进液管(26)上对应进液管(26)的位置处开设有供管道通过的连接槽(28)，所述连接板(25)的底端安装有与进液管(26)连通的进液管(26)，所述进液管(26)的底端分布有滴液管(30)，所述滴液管(30)的底端设置在滤纸的上方，所述连接板(25)上方的过滤箱(4)侧面通过合页连接有盖板(13)。