[发明专利]一种芯片空气加热装置及方法在审
申请号: | 202211140522.2 | 申请日: | 2022-09-20 |
公开(公告)号: | CN115458442A | 公开(公告)日: | 2022-12-09 |
发明(设计)人: | 李辉;王体 | 申请(专利权)人: | 深圳市诺泰芯装备有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 南京新众合专利代理事务所(普通合伙) 32534 | 代理人: | 彭雄 |
地址: | 518100 广东省深圳市宝安区沙井*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 芯片 空气 加热 装置 方法 | ||
1.一种芯片空气加热装置,其特征在于:包括按气体流向依次连接的空气处理系统、空气加热系统、高温空气流道芯片加热系统,其中:
所述空气处理系统包括按气体流向依次连接的储气罐(11)、空气调压阀(12)、流量调节阀(13);且所述储气罐(11)、空气调压阀(12)、流量调节阀(13)之间通过导气管(14)按气体流向依次连接;
所述高温空气流道芯片加热系统包括高温导热箱(31)、导风槽(33)、产品进出槽(34);所述导风槽(33)设置于高温导热箱(31)内壁,所述高温导热箱(31)内部设置有高温箱内腔(32),所述产品进出槽(34)安装在高温导热箱(31)内,且所述产品进出槽(34)穿过高温箱内腔(32),同时所述导风槽(33)的出风口均指向产品进出槽(34);且部分导风槽(33)的出风口位于产品进出槽(34)的一侧,另外一部分的导风槽(33)的出风口位于产品进出槽(34)的另一侧。
2.根据权利要求1所述芯片空气加热装置,其特征在于:所述风筒加热器(21)通过加热器固定机构固定安装在高温导热箱(31)上,所述加热器固定机构包括加热器固定块(211)、加热器固定架(212),所述加热器固定架(212)固定安装在高温导热箱(31)上,所述加热器固定块(211)将风筒加热器(21)固定安装在加热器固定架(212)上。
3.根据权利要求2所述芯片空气加热装置,其特征在于:所述高温导热箱(31)还包括固定外盖(316)、快拆外盖(317),所述固定外盖(316)、快拆外盖(317)安装在高温导热箱(31)上,且所述固定外盖(316)、快拆外盖(317)相互配合形成高温导热箱(31)的密封盖。
4.根据权利要求3所述芯片空气加热装置,其特征在于:所述产品进出槽(34)的进出口均设置有磁铁块(312)、磁铁吸块(312),所述磁铁块(312)安装在高温导热箱(31)上,所述磁铁吸块(312)设置于快拆外盖(317)上,且所述磁铁吸块(312)与磁铁块(312)相对设置。
5.根据权利要求4所述芯片空气加热装置,其特征在于:所述固定外盖(316)上固定安装有玻璃视窗板(314),所述快拆外盖(317)上固定安装有外玻璃视窗板(315),所述玻璃视窗板(314)与外玻璃视窗板(315)相互配合形成玻璃视窗,且所述玻璃视窗位于产品进出槽(34)的上方。
6.根据权利要求5所述芯片空气加热装置,其特征在于:所述高温导热箱(31)包括高温导热腔体(310)和腔体密封底板(36),所述高温导热腔体(310)安装在腔体密封底板(36)上;所述腔体密封底板(36)上设置有出气孔(361),所述出气孔(361)与储气罐(11)连通。
7.根据权利要求6所述芯片空气加热装置,其特征在于:所述空气加热系统包括风筒加热器(21),所述风筒加热器(21)内设置有加热丝(22)。
8.根据权利要求7所述芯片空气加热装置,其特征在于:所述风筒加热器(21)内设置有热电偶(22),所述热电偶(22)位于风筒加热器(21)的加热空气出口端;所述高温导热箱(31)内设置有高温箱热电偶(35)。
9.一种基于权利要求1所述芯片空气加热装置的加热方法,其特征在于,包括以下步骤:
步骤1,将输入的压缩空气,经过储气罐(11)时进行空气稳压后,通过空气调压阀(12)进行气压调节,通过流量调节阀(13)进行流量调节,得到稳压恒流量的空气;
步骤2,将得到的稳压恒流量的空气通入空气加热系统加热形成高温气流;
步骤3,将待加热的芯片通过产品进出槽(34)输送到高温箱内腔(32)内;
步骤4,高温气流通过导风槽(33)的分导,使得高温气流从导风槽(33)的出风口吹向待加热的芯片,对待加热的芯片加热;
步骤5,将加热好的芯片通过产品进出槽(34)输出高温导热箱(31)。
10.根据权利要求9所述加热方法,其特征在于:通过热电偶(22)对步骤2得到的高温气流进行温度监测;通过高温箱热电偶(35)对进入到高温箱内腔(32)内的高温气流进行温度监测。
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