[发明专利]一种芯片空气加热装置及方法在审
申请号: | 202211140522.2 | 申请日: | 2022-09-20 |
公开(公告)号: | CN115458442A | 公开(公告)日: | 2022-12-09 |
发明(设计)人: | 李辉;王体 | 申请(专利权)人: | 深圳市诺泰芯装备有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 南京新众合专利代理事务所(普通合伙) 32534 | 代理人: | 彭雄 |
地址: | 518100 广东省深圳市宝安区沙井*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 芯片 空气 加热 装置 方法 | ||
本发明公开了一种芯片空气加热装置及方法,包括按气体流向依次连接的空气处理系统、空气加热系统、高温空气流道芯片加热系统,所述空气处理系统包括按气体流向依次连接的储气罐、空气调压阀、流量调节阀所述高温空气流道芯片加热系统包括高温导热箱、导风槽、产品进出槽;所述高温导热箱内部设置有高温箱内腔,所述导风槽的出风口均指向产品进出槽;本发明能够实现快速升温及精准控温的生产要求,同时避免产品受热不均匀的问题。
技术领域
本发明涉及一种芯片空气加热装置及方法,属于芯片检测技术领域。
背景技术
在生产制造汽车电子等芯片产品时,测试检验前需要产品转移高温环境中,对芯片产品进行一段时间高温预热,使产品在设置的高温状态充分受热,以便经过高温预热后对产品的质量检测,验证对芯片封装产品性能的影响,检验是否符合产品的质量要求。
传统做法主要是采用加热丝或加热棒对导热体进行高温加热,利用热传导的方法对芯片产品进行加热,首先热传导使盛放芯片产品的导热载具受热后,再传递至产品与导热载具的接触面,最后传递至芯片产品的本体。
这种做法技术的缺点和不足,主要体显在以下:第一,温度通过导热体到导热载具,再从导热载具到产品的产品本体,芯片产品受热速度较慢;第二,热传导受物体接触面影响,产品随盛放芯片产品的导热载具转移过程,导热体与导热载具接触面容易产生变化,使产品高温受热状态不均匀;第三,加热丝或加热棒在导热体的位置不同,温度误差较大,温度精度不稳定。
发明内容
发明目的:为了克服现有技术中存在的不足,本发明提供一种芯片空气加热装置及方法,本发明利用高温空气对流热传导的方式对芯片产品进行高温加热。
技术方案:为实现上述目的,本发明采用的技术方案为:
一种芯片空气加热装置,包括按气体流向依次连接的空气处理系统、空气加热系统、高温空气流道芯片加热系统,其中:
所述空气处理系统包括按气体流向依次连接的储气罐、空气调压阀、流量调节阀。且所述储气罐、空气调压阀、流量调节阀之间通过导气管按气体流向依次连接。
所述高温空气流道芯片加热系统包括高温导热箱、导风槽、产品进出槽。所述导风槽设置于高温导热箱内壁,所述高温导热箱内部设置有高温箱内腔,所述产品进出槽安装在高温导热箱内,且所述产品进出槽穿过高温箱内腔,同时所述导风槽的出风口均指向产品进出槽。且部分导风槽的出风口位于产品进出槽的一侧,另外一部分的导风槽的出风口位于产品进出槽的另一侧。
优选的:所述风筒加热器通过加热器固定机构固定安装在高温导热箱上,所述加热器固定机构包括加热器固定块、加热器固定架,所述加热器固定架固定安装在高温导热箱上,所述加热器固定块将风筒加热器固定安装在加热器固定架上。
优选的:所述高温导热箱还包括固定外盖、快拆外盖,所述固定外盖、快拆外盖安装在高温导热箱上,且所述固定外盖、快拆外盖相互配合形成高温导热箱的密封盖。
优选的:所述产品进出槽的进出口均设置有磁铁块、磁铁吸块,所述磁铁块安装在高温导热箱上,所述磁铁吸块设置于快拆外盖上,且所述磁铁吸块与磁铁块相对设置。
优选的:所述固定外盖上固定安装有玻璃视窗板,所述快拆外盖上固定安装有外玻璃视窗板,所述玻璃视窗板与外玻璃视窗板相互配合形成玻璃视窗,且所述玻璃视窗位于产品进出槽的上方。
优选的:所述高温导热箱包括高温导热腔体和腔体密封底板,所述高温导热腔体安装在腔体密封底板上。所述腔体密封底板上设置有出气孔,所述出气孔与储气罐连通。
优选的:所述空气加热系统包括风筒加热器,所述风筒加热器内设置有加热丝。
优选的:所述风筒加热器内设置有热电偶,所述热电偶位于风筒加热器的加热空气出口端。所述高温导热箱内设置有高温箱热电偶。
一种芯片空气加热方法,包括以下步骤:
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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