[发明专利]一种大口径整体叶轮复合分子泵

权利要求书

1.一种大口径整体叶轮复合分子泵，包括分子泵主体(1)，其特征在于，所述分子泵主体(1)包括上泵壳(2)和下泵壳(3)，所述上泵壳(2)设置在下泵壳(3)的正上方，所述上泵壳(2)上远离下泵壳(3)的一端安装有进气口法兰(4)，所述下泵壳(3)内中部安装有电机壳(9)，所述电机壳(9)内设置有叶轮(5)，所述电机壳(9)内安装有电机(10)，所述电机(10)的输出端固定连接有主轴(11)，所述主轴(11)贯穿叶轮(5)的中部，并固定连接在叶轮(5)上，所述下泵壳(3)内连接有排气通道，所述排气通道的一端贯穿下泵壳(3)的侧壁，并连通外侧。

2.根据权利要求1所述的一种大口径整体叶轮复合分子泵，其特征在于，所述叶轮(5)的中部开设有安装槽，所述安装槽的底部开设有贯穿孔，并延伸至叶轮(5)的底部，所述主轴(11)穿过贯穿孔，并通过定位螺栓固定连接在安装槽内。

3.根据权利要求1所述的一种大口径整体叶轮复合分子泵，其特征在于，所述电机壳(9)内的上下两端分别安装有上轴承(16)和下轴承(15)，所述主轴(11)的贯穿上轴承(16)和下轴承(15)，并分别与上轴承(16)和下轴承(15)转动连接。

4.根据权利要求1所述的一种大口径整体叶轮复合分子泵，其特征在于，所述下泵壳(3)的底部安装有油池(13)，所述下泵壳(3)的底部安装有多个相互对称的地脚(14)。

5.根据权利要求1所述的一种大口径整体叶轮复合分子泵，其特征在于，所述上泵壳(2)与下泵壳(3)之间通过多个螺栓连接，所述螺栓等距离设置在上泵壳(2)与下泵壳(3)的表面。

6.根据权利要求1所述的一种大口径整体叶轮复合分子泵，其特征在于，所述叶轮(5)包括中轴，所述中轴的表面连接有多个整机动片，所述中轴与整机动片为一体化结构。

7.根据权利要求1所述的一种大口径整体叶轮复合分子泵，其特征在于，所述上泵壳(2)的内壁上安装有多个整体静片(6)，所述整体静片(6)与整机动片相匹配设置，每一个所述整体静片(6)分别活动设置在两个整机动片之间，所述上泵壳(2)的顶部开设有开口，所述上泵壳(2)的内壁上安装有隔离环(7)。

8.根据权利要求6所述的一种大口径整体叶轮复合分子泵，其特征在于，所述下泵壳(3)的底部一侧安装有排气口连接法兰(12)，所述排气口连接法兰(12)安装在排气通道的表面，所述下泵壳(3)的另一侧连接有电源接头，所述电源接头贯穿下泵壳(3)，并电性连接在电机(10)上，所述下泵壳(3)的内壁底部安装有弧线盘(8)，所述弧线盘(8)与叶轮(5)底部的整机动片交错设置。