[发明专利]一种大口径整体叶轮复合分子泵

说明书

本发明公开了一种大口径整体叶轮复合分子泵，包括分子泵主体，所述分子泵主体包括上泵壳和下泵壳，所述上泵壳设置在下泵壳的正上方，所述上泵壳上远离下泵壳的一端安装有进气口法兰，所述下泵壳内中部安装有电机壳，所述电机壳内设置有叶轮，所述电机壳内安装有电机，所述电机的输出端固定连接有主轴，所述主轴贯穿叶轮的中部，并固定连接在叶轮上，所述下泵壳内连接有排气通道。该种大口径整体叶轮复合分子泵，通过设置一体化的叶轮，在分子泵内旋转，一体化的叶轮设计在分子泵内，具有涡轮分子泵分子流时抽速大和牵引泵高压强时抽速大压缩比高的特点，扩大了分子泵的应用范围。

技术领域

本发明涉及分子泵技术领域，具体为一种大口径整体叶轮复合分子泵。

背景技术

分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。现在行业内大口径分子泵主要是把单片涡轮叶片逐个通过螺钉紧固连接到转动芯轴上面，该中分子泵大多是由单片涡轮叶片组成，这样叶轮由于是单片叠加导致不平衡量比较大，在运转过程中没那么平稳，会产生共振。因此我们对此做出改进，提出一种大口径整体叶轮复合分子泵。

发明内容

为了解决上述技术问题，本发明提供了如下的技术方案：

本发明一种大口径整体叶轮复合分子泵，包括分子泵主体，所述分子泵主体包括上泵壳和下泵壳，所述上泵壳设置在下泵壳的正上方，所述上泵壳上远离下泵壳的一端安装有进气口法兰，所述下泵壳内中部安装有电机壳，所述电机壳内设置有叶轮，所述电机壳内安装有电机，所述电机的输出端固定连接有主轴，所述主轴贯穿叶轮的中部，并固定连接在叶轮上，所述下泵壳内连接有排气通道，所述排气通道的一端贯穿下泵壳的侧壁，并连通外侧。

作为本发明的一种优选技术方案，所述叶轮的中部开设有安装槽，所述安装槽的底部开设有贯穿孔，并延伸至叶轮的底部，所述主轴穿过贯穿孔，并通过定位螺栓固定连接在安装槽内。

作为本发明的一种优选技术方案，所述电机壳内的上下两端分别安装有上轴承和下轴承，所述主轴的贯穿上轴承和下轴承，并分别与上轴承和下轴承转动连接。

作为本发明的一种优选技术方案，所述下泵壳的底部安装有油池，所述下泵壳的底部安装有多个相互对称的地脚。

作为本发明的一种优选技术方案，所述上泵壳与下泵壳之间通过多个螺栓连接，所述螺栓等距离设置在上泵壳与下泵壳的表面。

作为本发明的一种优选技术方案，所述叶轮包括中轴，所述中轴的表面连接有多个整机动片，所述中轴与整机动片为一体化结构。

作为本发明的一种优选技术方案，所述上泵壳的内壁上安装有多个整体静片，所述整体静片与整机动片相匹配设置，每一个所述整体静片分别活动设置在两个整机动片之间，所述上泵壳的顶部开设有开口，所述上泵壳的内壁上安装有隔离环。

作为本发明的一种优选技术方案，所述下泵壳的底部一侧安装有排气口连接法兰，所述排气口连接法兰安装在排气通道的表面，所述下泵壳的另一侧连接有电源接头，所述电源接头贯穿下泵壳，并电性连接在电机上，所述下泵壳的内壁底部安装有弧线盘，所述弧线盘与叶轮底部的整机动片交错设置。

本发明的有益效果是：

1、该种大口径整体叶轮复合分子泵，通过设置一体化的叶轮，在分子泵内旋转，一体化的叶轮设计在分子泵内，具有涡轮分子泵分子流时抽速大和牵引泵高压强时抽速大压缩比高的特点，扩大了分子泵的应用范围；

2、该种大口径整体叶轮复合分子泵，通过设置隔离环和弧线盘，不仅对气体起到导流的作用，而且还能够提高涡轮分子泵的压缩比，从而提高分子泵的应用前景。

附图说明

附图用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本发明的实施例一起用于解释本发明，并不构成对本发明的限制。在附图中：