[发明专利]一种电镜成像方法、装置、计算机设备及存储介质

权利要求书

1.一种电镜成像方法，其特征在于，所述方法包括：

利用在低电压下发出的电子束扫描目标对象，获取与所述目标对象对应的第一成像信号集；

将所述第一成像信号集中的第一成像信号进行放大，得到第二成像信号集，所述第一成像信号为所述第一成像信号集中的任一个成像信号；

当确定当前预设存储空间存在空闲存储位置时，将所述第二成像信号存入所述当前预设存储空间，或，当确定所述当前预设存储空间不存在空闲存储位置时，将所述第二成像信号存入下一预设存储空间，直至将所有的所述第二成像信号集中的每一个第二成像信号存储至一个预设存储空间内，所述预设存储空间包括至少一个；

对第一预设存储空间中的所有第二成像信号分别进行滤波，获取与所述第一预设存储空间对应的第三成像信号集，其中所述第三成像信号集由与所述第一预设存储空间中的每一个所述第二成像信号对应的第三成像信号构成，所述第三成像信号为对所述第二成像信号进行滤波后获取的成像信号；

根据所有的第三成像信号集，得到与所述目标对象对应的目标图像。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述将所述第一成像信号进行放大，得到第二成像信号集，具体包括：

将所述第一成像信号与预设的参考信号进行相位同步后，从所述第一成像信号中筛选与所述参考信号相匹配的信号；

对所述信号进行放大得到第二成像信号。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

根据第一预设存储空间中除第i个第二成像信号之外的其他第二成像信号，对所述第i个第二成像信号进行滤波，获取与所述第i个第二成像信号对应的第i个第三成像信号。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述根据第一预设存储空间中除第i个第二成像信号之外的其他第二成像信号，对所述第i个第二成像信号进行滤波，获取与所述第i个第二成像信号对应的第i个第三成像信号，具体包括：

根据所述第一预设存储空间中所有的第二成像信号，得到数据序列；

对所述数据序列进行滤波得到所述第i个第三成像信号集。

5.一种电镜成像装置，其特征在于，所述装置包括：

获取模块，用于利用在低电压下发出的电子束扫描目标对象，获取与所述目标对象对应的第一成像信号集；

放大模块，用于将所述第一成像信号集中的第一成像信号进行放大，得到第二成像信号集，所述第一成像信号为所述第一成像信号集中的任一个成像信号；

存储模块，用于当确定当前预设存储空间存在空闲存储位置时，将所述第二成像信号存入所述当前预设存储空间，或，当确定所述当前预设存储空间不存在空闲存储位置时，将所述第二成像信号存入下一预设存储空间，直至将所有的所述第二成像信号集中的每一个第二成像信号存储至一个预设存储空间内，所述预设存储空间包括至少一个；

滤波模块，用于对第一预设存储空间中的所有第二成像信号分别进行滤波，获取与所述第一预设存储空间对应的第三成像信号集，其中所述第三成像信号集由与所述第一预设存储空间中的每一个所述第二成像信号对应的第三成像信号构成，所述第三成像信号为对所述第二成像信号进行滤波后获取的成像信号；

确定模块，用于根据所有的第三成像信号集，得到与所述目标对象对应的目标图像。

6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述放大模块，具体包括：

同步模块，用于将所述第一成像信号与预设的参考信号进行相位同步后，从所述第一成像信号中筛选与所述参考信号相匹配的信号；

放大子模块，用于对所述信号进行放大得到第二成像信号。

7.根据权利要求5或6所述的装置，其特征在于，所述装置还包括：

滤波子模块，用于根据第一预设存储空间中除第i个第二成像信号之外的其他第二成像信号，对所述第i个第二成像信号进行滤波，获取与所述第i个第二成像信号对应的第i个第三成像信号。