[发明专利]一种电镜成像方法、装置、计算机设备及存储介质

说明书

本发明公开了一种电镜成像方法、装置、计算机设备及存储介质，该方法包括：利用在低电压下发出的电子束扫描目标对象，获取与目标对象对应的第一成像信号集；将第一成像信号集中的第一成像信号进行放大，得到第二成像信号集，第一成像信号为第一成像信号集中的任一个成像信号；当确定当前预设存储空间存在空闲存储位置时，将第二成像信号存入当前预设存储空间，或，当确定当前预设存储空间不存在空闲存储位置时，将第二成像信号存入下一预设存储空间，直至将所有的第二成像信号集中的每一个第二成像信号存储至一个预设存储空间内；根据所有的第三成像信号集，得到与目标对象对应的目标图像。减少了对目标对象表面的损坏，提高了成像的准确性。

技术领域

本发明涉及电镜成像技术领域，具体涉及一种电镜成像方法、装置、计算机设备及存储介质。

背景技术

扫描电镜是一种大型精密仪器，扫描电镜由电子枪发射出电子束，聚焦在样品表面上，电子束在样品上扫描，电子束和样品相互作用产生信号电子，经探测器收集信号电子并转化为光子，最终成像在显示系统上。在CN109300759A中详细介绍了电子显微镜系统的结果以及成像方式。而在现有技术中，电子束是在高压状态下进行发射和聚焦，这种高压状态下的电子束会对样品表面造成一定损坏。因此亟待提出一种新的电镜成像方法。

发明内容

因此，为解决现有技术的不足，本发明实施例提供了一种电镜成像方法、装置、计算机设备及存储介质。

根据第一方面，本发明实施例公开了一种电镜成像方法，包括：

利用在低电压下发出的电子束扫描目标对象，获取与目标对象对应的第一成像信号集；

将第一成像信号集中的第一成像信号进行放大，得到第二成像信号集，第一成像信号为第一成像信号集中的任一个成像信号；

当确定当前预设存储空间存在空闲存储位置时，将第二成像信号存入当前预设存储空间，或，当确定当前预设存储空间不存在空闲存储位置时，将第二成像信号存入下一预设存储空间，直至将所有的第二成像信号集中的每一个第二成像信号存储至一个预设存储空间内，预设存储空间包括至少一个；

对第一预设存储空间中的所有第二成像信号分别进行滤波，获取与第一预设存储空间对应的第三成像信号集，其中第三成像信号集由与第一预设存储空间中的每一个第二成像信号对应的第三成像信号构成，第三成像信号为对第二成像信号进行滤波后获取的成像信号；

根据所有的第三成像信号集，得到与目标对象对应的目标图像。

可选地，将第一成像信号进行放大，得到第二成像信号集，具体包括：

将第一成像信号与预设的参考信号进行相位同步后，从第一成像信号中筛选与参考信号相匹配的信号；

对信号进行放大得到第二成像信号。

可选地，方法还包括：

根据第一预设存储空间中除第i个第二成像信号之外的其他第二成像信号，对第i个第二成像信号进行滤波，获取与第i个第二成像信号对应的第i个第三成像信号。

可选地，根据第一预设存储空间中除第i个第二成像信号之外的其他第二成像信号，对第i个第二成像信号进行滤波，获取与第i个第二成像信号对应的第i个第三成像信号，具体包括：

根据第一预设存储空间中所有的第二成像信号，得到数据序列；

对数据序列进行滤波得到第i个第三成像信号。

根据第二方面，本发明实施例还公开了一种电镜成像装置，包括：

获取模块，用于利用在低电压下发出的电子束扫描目标对象，获取与目标对象对应的第一成像信号集；