[发明专利]一种粘滑驱动的六自由度精密定位平台

权利要求书

1.一种粘滑驱动的六自由度精密定位平台，其特征在于，包括底座，在底座上设置三个第一主运动模块，三个第一主运动模块沿着底座的径向方向设置，在第一主运动模块的顶部设置第二主运动模块，且第二主运动模块的设置方向与第一主运动模块设置方向垂直，所述的第一主运动模块驱动第二主运动模块运动，在每个第二主运动模块上设置有一个倾斜设置的被动运动模块，第二主运动模块驱动被动运动模块移动，三个被动运动模块的倾斜角度相同，在每个被动运动模块上设置一个球形铰链，三个球形铰链与同一个样品放置平台连接。

2.如权利要求1所述的粘滑驱动的六自由度精密定位平台，其特征在于，所述的第一主动运动模块包括第一粘滑驱动器和第一主动运动导轨，第一粘滑驱动器沿着底座的径向方向设置，在第一粘滑驱动器安装第一主动运动导轨，第一粘滑驱动器驱动第一主动运动导轨的滑块沿着底座的径向方向移动。

3.如权利要求2所述的粘滑驱动的六自由度精密定位平台，其特征在于，所述的第二主动运动模块包括第二粘滑驱动器和第二主动运动导轨，第二粘滑驱动器安装第一主动运动导轨的滑块上，第二主动运动导轨安装在第二粘滑驱动器上，第二主动运动导轨的滑块上安装被动运动模块。

4.如权利要求3所述的粘滑驱动的六自由度精密定位平台，其特征在于，所述的被动运动模块包括安装斜块和被动运动导轨；其中，安装斜块的底面为水平面、顶面为斜面；所述的水平面固定安装于第二主动运动导轨的滑块上，被动运动导轨固定安装于安装斜块的斜面上，被动运动导轨的滑块在外力作用下可沿着安装斜块的斜面做往复直线运动。

5.如权利要求4所述的粘滑驱动的六自由度精密定位平台，其特征在于，在被动运动导轨的滑块上安装有球形铰链，球形铰链的一端与被动运动导轨的滑块连接，另一端与样品放置平台连接。

6.如权利要求4所述的粘滑驱动的六自由度精密定位平台，其特征在于，安装斜块的斜面呈锐角。

7.如权利要求1所述的粘滑驱动的六自由度精密定位平台，其特征在于，三个第一主动运动模块沿着底座的周向方向。

8.如权利要求1所述的粘滑驱动的六自由度精密定位平台，其特征在于，三个所述的第一主动运动模块完全相同。

9.如权利要求1所述的粘滑驱动的六自由度精密定位平台，其特征在于，三个所述的被动运动模块完全相同。

10.如权利要求1所述的粘滑驱动的六自由度精密定位平台，其特征在于，三个所述的第二主动运动模块完全相同。