[发明专利]一种粘滑驱动的六自由度精密定位平台

说明书

本发明公开了一种粘滑驱动的六自由度精密定位平台，包括底座，沿着底座的径向方向设置三个第一主运动模块，在第一主运动模块的顶部设置第二主运动模块，且第二主运动模块的设置方向与第一主运动模块设置方向垂直，第一主运动模块驱动第二主运动模块运动，在每个第二主运动模块上设置有一个倾斜设置的被动运动模块，第二主运动模块驱动被动运动模块移动，三个被动运动模块的倾斜角度相同，在每个被动运动模块上设置一个球形铰链，三个球形铰链与同一个样品放置平台连接。本发明中的三个主动运动模块采用并联结构设计，具有刚度大，负载能力强，累计误差小的优点，有效的提高了精密定位平台的定位精度。

技术领域

本发明属于精密定位领域，具体涉及一种粘滑驱动的六自由度精密定位平台。

背景技术

在专利【CN202111411076.X】中，公开了一种压电驱动六自由度柔顺定位系统及其控制方法，包括工控机，工控机电性连接有压电陶瓷控制器，压电陶瓷控制器与若干个压电陶瓷促动器电性连接，若干个压电陶瓷促动器设置于六自由度柔顺定位平台的底部，六自由度柔顺定位平台的四个边侧设置有驱动支链，位移检测挡块固定在柔顺定位平台上表面形心处，若干个电容位移传感器分别等距布设在位移检测挡块表面，且平行预留间隙；但是该专利通过8个压电陶瓷+柔性铰链结构进行驱动，整个工作行程太小，而且需要8个压电陶瓷驱动，驱动数量大于平台自由度数量，结构较累赘，同时过多的驱动器，会增加平台整体成本。。

在专利【CN202111387617.X】中，公开了一种平面结构六自由度精密定位平台及调节方法，包括调节定位机构本体、四极磁铁，激光跟踪仪和反射靶球，平台底板4个角落均匀分布调节基座，两者之间通过球面支承板贴合连接，平台底板的上表面安装四极磁铁；调节基座的内设置高度调节装置；调节基座两侧面分别安装横向水平调节装置和纵向水平调节装置，横向水平调节装置和纵向水平调节装置配合分别用于调节平台底板X、Y水平位移；四级磁铁的周围布置四台激光跟踪仪，设置磁铁的固定一点位置为坐标系原点，在该目标点上安置一个反射靶球，激光跟踪仪和反射靶球用于跟踪坐标系原点，同时确定坐标系偏移的距离和姿态；该系统通过8个电机驱动，两个电机一组，每组90度布置，驱动数量太多，结构过于累赘，。且粗调由工作人员拧动粗调螺栓。

在专利【202011603039.4】中，公开了一种六自由度调节装置，包括：用于固定并支撑待调节平台的至少三个斜块、分别与斜块抵接的至少三个调节单元；每个斜块包括两个斜面，每个调节单元包括分别与该两个斜面抵接的两个偏心轮，偏心轮转动带动斜块移动。本发明通过偏心轮转动的方式产生微量位移，实现平台空间状态的调整，但是该装置采用电机+偏心轮的方式实现位移调整，虽然结构简单，但是调节角度小，位移小，实用性相对较差。

发明内容

针对现有技术存在的不足，本发明的目的是提供一种基于粘滑驱动原理的六自由度精密定位平台，该平台采用三个并联设计的主运动模块作为驱动，具有刚度大，负载能力强，累计误差小，结构尺寸紧凑的优点，有效的提高了精密定位平台的运动范围和定位精度。

为了实现上述目的，本发明是通过如下的技术方案来实现：

本发明的实施例提供了一种粘滑驱动的六自由度精密定位平台，包括底座，沿着底座的径向方向设置三个第一主运动模块，在第一主运动模块的顶部设置第二主运动模块，且第二主运动模块的设置方向与第一主运动模块设置方向垂直，第一主运动模块驱动第二主运动模块运动，在每个第二主运动模块上设置有一个倾斜设置的被动运动模块，第二主运动模块驱动被动运动模块移动，三个被动运动模块的倾斜角度相同，在每个被动运动模块上设置一个球形铰链，三个球形铰链与同一个样品放置平台连接。

进一步的，第一主动运动模块包括第一粘滑驱动器和第一主动运动导轨，所述的第一粘滑驱动器沿着底座的径向方向设置，在粘滑驱动器安装第一主动运动导轨，第一主动运动导轨的滑块可沿着底座的径向方向移动。