[发明专利]捕集装置和包括其的基板处理装置

权利要求书

1.一种基板处理装置，包括：

头单元，用于排放液态化学品；

贮存器，用于贮存所述液态化学品，并向所述头单元供应所述液态化学品；

压力调节单元，用于调节所述贮存器内部的压力；以及

捕集单元，布置在所述贮存器和所述压力调节单元之间，并捕集从所述贮存器中产生的雾气。

2.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，所述捕集单元包括：

主体；

第一管线，设置在所述主体内，与所述贮存器连接，并沿第一方向延伸；

第二管线，设置在所述主体内，与所述压力调节单元连接，并沿第二方向延伸；以及

第三管线，设置在所述主体内，连接所述第一管线和所述第二管线。

3.根据权利要求2所述的基板处理装置，其中，在所述第一管线的内壁或所述第二管线的内壁上设置有用于捕集所述雾气的捕集层。

4.根据权利要求3所述的基板处理装置，其中，所述捕集层包括网格结构、膜结构和过滤器结构中的至少一种。

5.根据权利要求2所述的基板处理装置，其中，所述主体相对于所述贮存器的上表面以锐角倾斜。

6.根据权利要求2所述的基板处理装置，其中，所述第三管线设置成从所述主体的上表面贯穿所述第一管线和所述第二管线。

7.根据权利要求6所述的基板处理装置，其中，所述捕集单元还包括：

盖，所述盖设置于所述主体的上表面，并用于打开或封闭所述第三管线的一侧。

8.根据权利要求2所述的基板处理装置，其中，

所述第一管线包括连接到所述第三管线的第一连接口、布置在相对于所述第一连接口的中心的第一侧的入口以及布置在相对于所述第一连接口的中心的第二侧的第一缓冲区。

9.根据权利要求2所述的基板处理装置，其中，

所述第二管线包括连接到所述第三管线的第二连接口、布置在相对于所述第二连接口的中心的第二侧的出口以及布置在相对于所述第二连接口的中心的第一侧的第二缓冲区。

10.根据权利要求2所述的基板处理装置，其中，

所述第一管线和所述第二管线彼此平行，以及

所述第三管线包括：

中间管线，布置在所述第一管线和所述第二管线之间，并与所述第一管线和所述第二管线平行；

第一垂直管线，连接所述中间管线和所述第一管线；以及

第二垂直管线，连接所述中间管线和所述第二管线。

11.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，所述贮存器中设置有加热器，所述加热器用于调节所述液态化学品的温度。

12.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，在连接所述捕集单元和所述压力调节单元的管状件处设置有互锁传感器。