[发明专利]一种龙门双面光刻系统的曝光方法

权利要求书

1.一种龙门双面光刻系统的曝光方法，其特征在于，包括以下步骤:

步骤1：组装好PCB板组件(9)，并将PCB板组件(9)放置到龙门式上平台(31)；

步骤2：将龙门式上平台(31)移动到CCD组件的位置处，通过上下两侧的对位相机对PCB板(91)上下两面同时进行定位；

步骤3：将龙门式上平台(31)移动到光刻组件的位置处，通过上下两侧的光刻镜头对PCB板(91)上下两面同时进行光刻；

步骤4：光刻好的龙门式上平台(31)上的PCB板组件(9)回复到原位置，待光刻的龙门式下平台(41)上的PCB板组件(9)重复步骤1-3进行光刻；

在步骤3中，通过移动模组控制上光刻组件(5)和下光刻组件(6)沿着X轴和Z轴进行移动，对应调节水平位置和高度位置，进行光刻；

在步骤2中，在移动龙门式上平台(31)和龙门式下平台(41)过程中，对位于龙门式上平台(31)和龙门式下平台(41)上的上玻璃板(92)进行压紧工作；

压紧工作具体过程如下：

首先运动到压紧机构(10)位置时，压紧板(104)与滑轮(105)接触，随着平台的移动，使得滑轮(105)沿着压紧板(104)的弧面，移动到压紧板(104)的底面上，从而将驱动立柱(102)向下移动，使得压紧辊(103)也将随着向下移动，并作用在PCB板组件(9)上进行压紧工作，随着平台移动使得压紧辊(103)对PCB板组件(9)进行全面压紧，最后随着平台移动，压紧板(104)将与滑轮(105)分离，压紧机构复位，等待对下一个PCB板组件(9)进行压紧工作。

2.根据权利要求1所述的一种龙门双面光刻系统的曝光方法,其特征在于，在步骤1中，PCB板组件(9)组装的顺序为按照上玻璃板(92)、PCB板(91)和下玻璃板(93)从低往上顺序排布。

3.根据权利要求1所述的一种龙门双面光刻系统的曝光方法,其特征在于，在步骤2中，通过移动模组控制上CCD组件(7)和下CCD组件(8)沿着X轴和Z轴进行移动，对应调节水平位置和高度位置，进行定位。

4.根据权利要求3所述的一种龙门双面光刻系统的曝光方法,其特征在于，当上玻璃板(92)压紧结束后送去光刻时，启动驱动电机工作，带动基座(111)转动，对装卸组件和压紧辊(103)进行切换，使得装卸组件处于正下方。

5.根据权利要求4所述的一种龙门双面光刻系统的曝光方法,其特征在于，在步骤(4)中，当龙门式上平台(31)上的PCB板(91)光刻结束后，PCB板组件(9)移动到初始位置，再次移动到压紧机构(10)的位置处时，此时控制升降气缸(117)带动安装板(116)向下移动，使得吸盘(113)将吸附住后，升降气缸(117)复位到原来的高度，将上玻璃板(92)取下，同时，PCB板组件(9)回复到上料的工位上。

6.根据权利要求5所述的一种龙门双面光刻系统的曝光方法,其特征在于，启动双轴气缸(115)工作，通过活动杆(114)带动伸缩杆(112)伸长，使得吸附住的上玻璃板(92)向靠近PCB板组件(9)上料工位的位置移动，即移动到压紧机构(10)的前方。

7.根据权利要求6所述的一种龙门双面光刻系统的曝光方法,其特征在于，当下一组PCB板组件(9)进行光刻时，移动到吸附的上玻璃板(92)时，通过升降气缸(117)将上玻璃板(92)放置到PCB板(91)上，再接着控制使得双轴气缸(115)收缩，使得伸缩杆(112)收缩到基座(111)的安装槽内，并将控制驱动电机，使得压紧辊(103)处于底部，等待对下一组PCB板组件(9)进行压紧工作。