[发明专利]一种龙门双面光刻系统的曝光方法

说明书

本发明公开了一种龙门双面光刻系统的曝光方法，包括以下步骤:组装好PCB组件，并将PCB组件放置到移动龙门式左平台；将龙门式左平台移动到CCD组件的位置处，通过上下两侧的对位相机对PCB板上下两面同时进行定位；将龙门式左平台移动到光刻组件的位置处，通过上下两侧的光刻镜头对PCB板上下两面同时进行光刻；光刻好的龙门式左平台上的PCB组件回复到原位置，待光刻的龙门式右平台上的PCB组件重复步骤1‑3进行光刻，本发明的光刻系统，只需要在设备的一侧增加一个工位即可，便可对两个平台进行交叉的光刻工作；以及分别设置上下两个的光刻组件和CCD组件，从而可以对PCB板同时进行两面光刻工作。

技术领域

本发明涉及双面光刻技术领域，具体涉及一种龙门双面光刻系统的曝光方法。

背景技术

中国专利CN108873621B公开了一种悬臂式双台面的双面光刻机及双面光刻方法，双面光刻机包括安装架；分别设于安装架两侧的第一光刻组件和第二光刻组件；第一装载台和第二装载台；及驱动机构，驱动机构包括驱动组件，第一装载台和第二装载台分别在第一运动状态和第二运动状态通过光刻区。当光刻时，第一装载台以第一循环轨迹运动、并在第一运动状态时通过光刻区、以对第一待光刻件进行光刻，而第二装载台以第二循环轨迹运动、并在第二运动状态时通过光刻区、以对第二待光刻件进行光刻，第一装载台和第二装载台均循环运动，且第二待光刻件光刻时还能进行第一光刻成品的卸载或下一个第一待光刻件的装载；

但是上述的现有技术中，悬臂式双台面的双面光刻机存在着采用单边支撑的工作方式，而此种在光刻时，会发生若PCB板重量过大，导致晃动倾斜的问题；以及PCB板也是采用直接放置双面光刻，而这种也将会发生PCB板两侧发生卷边等问题；

以及目前采用的人工压紧或者气缸压紧板上下移动压紧，人工压紧存在费时费力的问题，而自动压紧需要PCB要移动到指定位置停止下来，并进行压紧工作，其影响PCB光刻节奏。

发明内容

本发明的目的就在于解决上述背景技术的问题，而提出一种龙门双面光刻系统的曝光方法。

本发明的目的可以通过以下技术方案实现：

一种龙门双面光刻系统的曝光方法，包括以下步骤:

步骤1：组装好PCB组件，并将PCB组件放置到移动龙门式左平台；

步骤2：将龙门式左平台移动到CCD组件的位置处，通过上下两侧的对位相机对PCB板上下两面同时进行定位；

步骤3：将龙门式左平台移动到光刻组件的位置处，通过上下两侧的光刻镜头对PCB板上下两面同时进行光刻；

步骤4：光刻好的龙门式左平台上的PCB组件回复到原位置，待光刻的龙门式右平台上的PCB组件重复步骤1-3进行光刻。

作为本发明的进一步方案：在步骤1中，PCB组件组装的顺序为按照上玻璃板、PCB板和下玻璃板从低往上顺序排布。

作为本发明的进一步方案：在步骤2中，通过移动模组控制上CCD组件和下CCD组件沿着X轴进行移动，对应调节水平位置进行定位。

作为本发明的进一步方案：在步骤3中，通过移动模组控制上光刻组件和下光刻组件沿着X轴进行移动，对应调节水平位置进行光刻。

作为本发明的进一步方案：在步骤2中，在移动移动龙门式左平台和龙门式右平台过程中，对位于门式左平台和龙门式右平台上的上玻璃板进行压紧工作。

作为本发明的进一步方案：压紧工作具体过程如下：