[发明专利]一种太阳能电池硅片扩散炉

权利要求书

1.一种太阳能电池硅片扩散炉，包括底座（1）、炉体（2）、上料机构、输送机构、炉门机构，其特征在于：所述的炉体（2）、上料机构、输送机构、炉门机构均设置在底座（1）上；

所述的输送机构包括石英舟(301)、横移组件、支撑杆(314)、调节板(315)、调节滑块(316)、联动滑块(320)、气缸(324)、限位块(325)、联动组件，横移组件固定安装在底座(1)上，横移组件用于带动石英舟(301)移动，横移组件上设置有调节滑块(316)，支撑杆(314)固定安装在底座(1)上，支撑杆(314)上固定安装有调节板(315)，调节板(315)上固定安装有气缸(324)，气缸(324)的伸缩杆和限位块(325)固定安装，调节板(315)上设置有滑槽，调节板(315)的滑槽包括第一滑槽(317)、第二滑槽(318)、第三滑槽(319)，第一滑槽(317)和第三滑槽(319)水平设置，第二滑槽(318)的一端和第一滑槽(317)连通，第二滑槽(318)的另一端和第三滑槽(319)连通，第二滑槽(318)倾斜设置，调节滑块(316)在调节板(315)的滑槽中滑动，调节板(315)的滑槽用于调节调节滑块(316)的高度，联动滑块(320)在调节板(315)的第三滑槽(319)上滑动安装，联动滑块(320)和调节滑块(316)接触配合，联动滑块(320)和联动组件相连，联动组件用于驱动炉门机构的开关；

所述的横移组件包括水平运动单元、碳化硅桨(302)、固定座(303)、升降杆(304)、升降弹簧(305)、横移滑台(306)，水平运动单元用于驱动横移滑台(306)往复运动，横移滑台(306)上滑动安装有升降杆(304)，升降杆(304)上套设有升降弹簧(305)，升降弹簧(305)的第一端固定安装在固定座(303)上，升降弹簧(305)的第二端固定安装在在横移滑台(306)上，升降杆(304)上固定安装有固定座(303)，固定座(303)和调节滑块(316)固定安装，固定座(303)上还固定安装有碳化硅桨(302)；

所述的水平运动单元包括横移电机(307)、横移滑块(308)、横移齿轮(309)、横移齿条(310)、横移轨道(311)，横移齿条(310)、横移轨道(311)均固定安装在底座(1)上，横移齿条(310)和横移齿轮(309)啮合安装，横移齿轮(309)和横移电机(307)的输出轴固定安装，横移电机(307)固定安装在横移滑台(306)上，横移滑块(308)固定安装在横移滑台(306)上，横移滑块(308)在横移轨道(311)上滑动安装；

所述的联动组件包括联动轨道(312)、T型杆(313)、限位板(321)、联动滑杆(322)、联动弹簧(323)，联动轨道(312)固定安装在底座(1)上，T型杆(313)在联动轨道(312)上滑动安装，联动滑杆(322)和联动滑块(320)固定安装，限位板(321)固定安装在调节板(315)上，联动滑杆(322)在限位板(321)上滑动安装，联动滑杆(322)上套设有联动弹簧(323)，联动弹簧(323)的第一端固定安装在限位板(321)上，联动弹簧(323)的第二端固定安装在联动滑块(320)上，T型杆(313)和联动滑块(320)固定安装；

所述的炉门机构包括外门板(403)、门板座(405)、支撑组件、驱动组件，支撑组件设置在底座(1)上，驱动组件、外门板(403)均对称设置有两个，两个驱动组件设置在支撑组件上，外门板(403)的两端固定安装有门板座(405)，门板座(405)设置在驱动组件上；

所述的支撑组件包括固定架(401)、横杆(402)，固定架(401)固定安装在底座(1)上，固定架(401)上固定安装有四个横杆(402)；

所述的驱动组件包括炉门滑杆(406)、炉门滑套(407)、连接座(408)、连接弹簧(409)、转动杆(410)、固定套(411)、驱动齿轮(412)、驱动齿条(413)，炉门滑杆(406)的两端固定安装有炉门滑套(407)，炉门滑套(407)在横杆(402)上滑动安装，炉门滑杆(406)上滑动安装有门板座(405)，门板座(405)上转动安装有连接座(408)，连接座(408)和转动杆(410)固定安装，转动杆(410)上套设有连接弹簧(409)，连接弹簧(409)的第一端固定安装在固定套(411)上，连接弹簧(409)的第二端固定安装在连接座(408)上，转动杆(410)滑动安装在固定套(411)上，固定套(411)和驱动齿轮(412)固定安装，驱动齿轮(412)转动安装在固定架(401)上，驱动齿轮(412)和驱动齿条(413)啮合安装，驱动齿条(413)固定安装在T型杆(313)上。