[发明专利]一种太阳能电池硅片扩散炉

说明书

本发明公开一种太阳能电池硅片扩散炉，涉及太阳能电池生产技术领域，包括底座、炉体、上料机构、输送机构、炉门机构，所述的炉体、上料机构、输送机构、炉门机构均设置在底座上；本发明通过设置上料机构，可以对太阳能电池硅片进行自动上料，并且可以同时将两个太阳能电池硅片摆放至石英舟上；本发明通过设置输送机构，可以通过碳化硅桨将石英舟运输至炉体中并缓慢放下，还可以将碳化硅桨从炉体中退出，从而增加碳化硅桨的使用寿命；本发明通过输送机构和炉门机构的配合，可以在每次将石英舟输送至炉体后，自动对炉门进行关闭，需要取出石英舟时，炉门自动开启。

技术领域

本发明涉及太阳能电池生产技术领域，特别涉及一种太阳能电池硅片扩散炉。

背景技术

扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，它的主要用途是对半导体进行掺杂，即在高温条件下将掺杂材料扩散入硅片，从而改变和控制半导体内杂质的类型、浓度和分布，以便建立起不同的电特性区域。扩散炉是由控制系统、进出舟系统、炉体加热系统和气体控制系统等组成。现有的扩散炉主要由开管扩散炉和闭管扩散炉组成，开管扩散炉遇冷空气容易产生偏磷酸等有毒物质，容易对人体造成伤害；闭管扩散炉是将碳化硅桨设在炉门上，使用碳化硅桨将石英舟放入炉体后关闭炉门再进行扩散反应，反应结束后再将碳化硅桨和石英舟一起取出，虽然闭管扩散炉能减少有毒物质的产生，但是由于碳化硅桨长时间受高温烘烤，会严重影响碳化硅桨的使用寿命。

公告号为CN105908261B的中国发明专利公开了一种硅片高效扩散炉，包括炉体和炉门，炉体内设有石英舟，在炉体的上端开设有进气口，进气口连接进气管，在炉体的底部开设有出气口，且出气口连接尾气排放管，在炉体的炉口处设有炉门，炉门的中心设有转轴，炉门的外壁上固定设有凸起，在炉门上开设有两个与转轴对称的窗口，在炉体的炉口处还设有与窗口相匹配的石英挡块，在炉体的外侧固定有U形支架，在U形支架上分别设有第一伸缩气缸、第二伸缩气缸、第三伸缩气缸，且第一伸缩气缸和第二伸缩气缸分别紧贴凸起，第三伸缩气缸连接石英推拉杆，该专利虽然可以自动进出舟，但是并不能将炉门压紧在炉体上，密封效果差。

发明内容

针对上述技术问题，本发明采用的技术方案为：一种太阳能电池硅片扩散炉，包括底座、炉体、上料机构、输送机构、炉门机构，所述的炉体、上料机构、输送机构、炉门机构均设置在底座上；所述的输送机构包括石英舟、横移组件、调节板、调节滑块、联动滑块、联动组件，所述的横移组件用于带动石英舟移动，所述的横移组件上设置有调节滑块，所述的调节板上设置有滑槽，所述的调节滑块在调节板的滑槽中滑动，调节板的滑槽用于调节调节滑块的高度，所述的联动滑块在调节板的滑槽上滑动安装，联动滑块和调节滑块接触配合，联动滑块和联动组件相连，所述的联动组件用于驱动炉门机构的开关。

进一步的，所述的横移组件包括水平运动单元、碳化硅桨、固定座、升降杆、升降弹簧、横移滑台，所述的水平运动单元用于驱动横移滑台往复运动，横移滑台上滑动安装有升降杆，升降杆上套设有升降弹簧，升降杆上固定安装有固定座，固定座和调节滑块固定安装，固定座上还固定安装有碳化硅桨。

进一步的，所述的联动组件包括T型杆、限位板、联动滑杆、联动弹簧，所述的联动滑杆和联动滑块固定安装，限位板固定安装在调节板上，联动滑杆在限位板上滑动安装，联动滑杆上套设有联动弹簧，T型杆和联动滑块固定安装。

进一步的，所述的炉门机构包括外门板、支撑组件、驱动组件，所述的支撑组件设置在底座上，所述的驱动组件、外门板均对称设置有两个，两个驱动组件设置在支撑组件上，外门板的两端固定安装有门板座，门板座设置在驱动组件上。

进一步的，所述的支撑组件包括固定架、横杆，所述的固定架固定安装在底座上，固定架上固定安装有四个横杆。