[发明专利]双面抛光的修布工艺在审

专利信息
申请号: 202211229492.2 申请日: 2022-10-08
公开(公告)号: CN115609480A 公开(公告)日: 2023-01-17
发明(设计)人: 孙若力;赵家;张文军 申请(专利权)人: 杭州中欣晶圆半导体股份有限公司
主分类号: B24B53/017 分类号: B24B53/017
代理公司: 杭州融方专利代理事务所(普通合伙) 33266 代理人: 沈相权
地址: 311201 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 双面 抛光 工艺
【权利要求书】:

1.一种双面抛光的修布工艺,其特征在于包括如下操作步骤:

第一步:测试初始的抛光布厚N;

第二步:接着使用金刚砂轮A进行修布压合,修布压力为100~200DaN,接着采用修布程序进行修布;

修布程序:第一阶段,砂轮转速:上盘转速=0.5~2:1,砂轮转速:下盘转速=2~10:-1(负值表示行进方向相反);第二阶段,砂轮转速:上盘转速=2~10:-1,砂轮转速:下盘转速=0.5~2:1;

第三步:测试修布后的抛光布厚M,通过N-M得出去除量;

第四步:当厚度去除量不足20~120μm,使用金刚砂轮A再次压合修布;

第五步:当厚度去除量达到20~120μm,改用砂轮B压合修布,修布去除量达到10-30μm后修布完成。

2.根据权利要求1所述的双面抛光的修布工艺,其特征在于:金刚砂轮A固定金刚砂的方式可以是电镀或烧结,金刚砂的目数可以是60~200目,枚数为3或4枚;金刚砂轮B固定金刚砂的方式可以是电镀或烧结,金刚砂的目数可以是100~200目,枚数为3或4枚。

3.根据权利要求2所述的双面抛光的修布工艺,其特征在于:当金刚砂轮A、金刚砂轮B数量为3枚时,金刚砂轮正反两面有金刚砂;当金刚砂轮A、金刚砂轮B数量为4枚时,金刚砂轮单面或双面有金刚砂。

4.根据权利要求1所述的双面抛光的修布工艺,其特征在于:当厚度去除量不足40~90μm时,砂轮A再次修布采用优选程序;优选程序:第一阶段,砂轮转速:上盘转速=2~10:-1,砂轮转速:下盘转速=4~8:1;第二阶段,砂轮转速:上盘转速=2~8:1,砂轮转速:下盘转速=2~10:-1。

5.根据权利要求4所述的双面抛光的修布工艺,其特征在于:当金刚砂轮A、金刚砂轮B进行修布时,上盘的管道中流出水或加工时的抛光液,流量为4~12L/min,温度为16~30℃。

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