[发明专利]一种键合机台装置与键合对准的方法

权利要求书

1.一种键合机台装置，其特征在于，包括：支撑板(1)，

移动台(2)，所述移动台(2)滑动连接在支撑板(1)的上侧中心位置；

放置台(3)，所述放置台(3)固定连接在移动台(2)的上侧中心位置，且放置台(3)内侧呈空腔结构设置，所述放置台(3)的上侧设有贯穿槽；

电机(4)，所述电机(4)内嵌设置在移动台(2)的上侧中心位置；

螺纹杆(5)，所述螺纹杆(5)固定连接在电机(4)的轴端，且螺纹杆(5)设置于放置台(3)的内侧；

升降板(6)，所述升降板(6)通过螺纹传动套接在螺纹杆(5)的外侧；

电动推杆一(7)，所述电动推杆一(7)的数量为两个，两个所述电动推杆一(7)分别设置于升降板(6)的上侧；

连接杆(8)，所述连接杆(8)固定连接在电动推杆一(7)的轴端；

定位板(9)，所述定位板(9)固定连接在连接杆(8)的顶端；

晶圆一(10)，所述晶圆一(10)设置于放置台(3)的上侧；

晶圆二(11)，所述晶圆二(11)设置于晶圆一(10)的上侧；

防护壳(12)，所述防护壳(12)固定连接在支撑板(1)的上侧；

液压缸(13)，所述液压缸(13)设置于防护壳(12)的上侧中心位置；

自发热键合头(28)，所述自发热键合头(28)设置于液压缸(13)的轴端。

2.根据权利要求1所述的一种键合机台装置，其特征在于，所述放置台(3)的前侧与后侧均固定设有电动推杆二(14)，所述电动推杆二(14)的轴端固定设有双向气缸(15)，所述双向气缸(15)的轴端固定设有连接块(16)，所述连接块(16)的一侧固定设有夹条一(17)。

3.根据权利要求1所述的一种键合机台装置，其特征在于，所述放置台(3)的两侧均固定设有若干导向杆(18)，所述导向杆(18)的上侧滑动连接设有滑杆(19)，所述滑杆(19)的一侧设有若干拉簧(20)，所述拉簧(20)的一端与放置台(3)的一侧相连接，所述滑杆(19)的顶端固定设有夹条二(21)，所述夹条二(21)的上侧翻转连接设有卡条(22)。

4.根据权利要求1所述的一种键合机台装置，其特征在于，所述移动台(2)的上侧平行对称设有两个导向座(23)，所述导向座(23)的上侧滑动套接设有导向套(24)，所述导向座(23)的顶侧设有若干弹簧(26)，所述弹簧(26)的一侧与导向套(24)的内侧顶部相抵触，所述导向套(24)的上侧固定设有压板(25)，所述压板(25)的上侧中心位置设有导向孔。

5.根据权利要求1所述的一种键合机台装置，其特征在于，所述支撑板(1)的下侧固定设有若干电动推杆三(27)。

6.根据权利要求4所述的一种键合机台装置，其特征在于，所述导向孔、晶圆一(10)、晶圆二(11)、自发热键合头(28)的中轴线呈重合结构设置。

7.根据权利要求1-6所述的一种键合机台装置的键合对准的方法，其特征在于，具体步骤如下：

S1、首先将晶圆一(10)放置在放置台(3)的上侧；

S2、然后利用电机(4)驱动螺纹杆(5)螺纹传动升降板(6)进行上升；

S3、接着利用两个电动推杆一(7)开始工作，驱动定位板(9)对晶圆一(10)进行居中对准；

S4、利用电动推杆二(14)驱动双向气缸(15)控制连接块(16)使夹条一(17)对晶圆一(10)进行固定，然后放置晶圆二(11)；

S5、同理利用S3将晶圆二(11)进行居中操作；

S6、最后利用液压缸(13)下压自发热键合头(28)，将晶圆一(10)与晶圆二(11)进行热压键合。