[发明专利]一种TO型金属封装模组夹持机构及密封工艺在审

专利信息
申请号: 202211258929.5 申请日: 2022-10-14
公开(公告)号: CN115519206A 公开(公告)日: 2022-12-27
发明(设计)人: 张浩;郭静;季春瑞;许桂洋;贾亚飞;刘佳均 申请(专利权)人: 安徽新芯威半导体有限公司
主分类号: B23K1/20 分类号: B23K1/20;B23K1/00;H01L21/67;H01L21/56
代理公司: 北京云嘉湃富知识产权代理有限公司 11678 代理人: 王荃
地址: 243000 安徽省马*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 一种 to 金属 封装 模组 夹持 机构 密封 工艺
【权利要求书】:

1.一种TO型金属封装模组夹持机构,包括有转盘(1),所述转盘(1)的底部设置有步进电机,所述步进电机由自动化控制程序进行控制,其特征在于:所述转盘(1)的表面设置有盖板限位板(2),所述盖板限位板(2)的中部开设有限位槽(21),所述限位槽(21)用于放置芯片封装盖板,所述盖板限位板(2)设置有多个,且多个所述盖板限位板(2)均匀分布在转盘(1)的表面。

2.根据权利要求1所述的一种TO型金属封装模组夹持机构,其特征在于:所述盖板限位板(2)的数量为四个,四个所述盖板限位板(2)均匀设置于转盘(1)的表面,且每个所述盖板限位板(2)距离转盘(1)旋转中心的距离均相等。

3.根据权利要求2所述的一种TO型金属封装模组夹持机构,其特征在于:所述转盘(1)的一侧设置有盖板上料位、基板上料位、焊接位、取料位,并且所述盖板上料位、基板上料位、焊接位、取料位为按转盘(1)的旋转方向依次设置。

4.根据权利要求1所述的一种TO型金属封装模组夹持机构,其特征在于:所述盖板限位板(2)靠近限位槽(21)的一侧设置有夹块,所述夹块可沿朝向或远离限位槽(21)的方向移动,所述夹块由自动化控制程序进行控制,且所述夹块用于与限位槽(21)进行配合夹持盖板。

5.一种TO型金属封装模组的密封工艺,其特征在于:包括以下步骤:

S1、封装件表面预处理,去除封装件表面的氧化层以及杂质;

S2、封装件上料,将表面预处理完成的盖板放置于盖板上料位处,将基板放置于基板上料位处;

S3、盖板与基板焊接;

S4、成品取料;

S5、成品表面后处理。

6.根据权利要求5所述的一种TO型金属封装模组的密封工艺,其特征在于:在步骤S1中,还包括有以下步骤:

S11、采用喷砂工艺对封装件表面进行处理;

S12、对喷砂完成后的封装件进行清洗,清除封装件表面残留的液体以及固体杂质;

S13、将清洗后的盖板与基板烘干。

7.根据权利要求5所述的一种TO型金属封装模组的密封工艺,其特征在于:在步骤S5中,还包括以下步骤:

S51、去除焊接溢料;

S52、对芯片封装进行清洗。

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