[发明专利]一种TO型金属封装模组夹持机构及密封工艺在审
申请号: | 202211258929.5 | 申请日: | 2022-10-14 |
公开(公告)号: | CN115519206A | 公开(公告)日: | 2022-12-27 |
发明(设计)人: | 张浩;郭静;季春瑞;许桂洋;贾亚飞;刘佳均 | 申请(专利权)人: | 安徽新芯威半导体有限公司 |
主分类号: | B23K1/20 | 分类号: | B23K1/20;B23K1/00;H01L21/67;H01L21/56 |
代理公司: | 北京云嘉湃富知识产权代理有限公司 11678 | 代理人: | 王荃 |
地址: | 243000 安徽省马*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 to 金属 封装 模组 夹持 机构 密封 工艺 | ||
1.一种TO型金属封装模组夹持机构,包括有转盘(1),所述转盘(1)的底部设置有步进电机,所述步进电机由自动化控制程序进行控制,其特征在于:所述转盘(1)的表面设置有盖板限位板(2),所述盖板限位板(2)的中部开设有限位槽(21),所述限位槽(21)用于放置芯片封装盖板,所述盖板限位板(2)设置有多个,且多个所述盖板限位板(2)均匀分布在转盘(1)的表面。
2.根据权利要求1所述的一种TO型金属封装模组夹持机构,其特征在于:所述盖板限位板(2)的数量为四个,四个所述盖板限位板(2)均匀设置于转盘(1)的表面,且每个所述盖板限位板(2)距离转盘(1)旋转中心的距离均相等。
3.根据权利要求2所述的一种TO型金属封装模组夹持机构,其特征在于:所述转盘(1)的一侧设置有盖板上料位、基板上料位、焊接位、取料位,并且所述盖板上料位、基板上料位、焊接位、取料位为按转盘(1)的旋转方向依次设置。
4.根据权利要求1所述的一种TO型金属封装模组夹持机构,其特征在于:所述盖板限位板(2)靠近限位槽(21)的一侧设置有夹块,所述夹块可沿朝向或远离限位槽(21)的方向移动,所述夹块由自动化控制程序进行控制,且所述夹块用于与限位槽(21)进行配合夹持盖板。
5.一种TO型金属封装模组的密封工艺,其特征在于:包括以下步骤:
S1、封装件表面预处理,去除封装件表面的氧化层以及杂质;
S2、封装件上料,将表面预处理完成的盖板放置于盖板上料位处,将基板放置于基板上料位处;
S3、盖板与基板焊接;
S4、成品取料;
S5、成品表面后处理。
6.根据权利要求5所述的一种TO型金属封装模组的密封工艺,其特征在于:在步骤S1中,还包括有以下步骤:
S11、采用喷砂工艺对封装件表面进行处理;
S12、对喷砂完成后的封装件进行清洗,清除封装件表面残留的液体以及固体杂质;
S13、将清洗后的盖板与基板烘干。
7.根据权利要求5所述的一种TO型金属封装模组的密封工艺,其特征在于:在步骤S5中,还包括以下步骤:
S51、去除焊接溢料;
S52、对芯片封装进行清洗。
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