[发明专利]体声波谐振器及其制作方法

权利要求书

1.一种体声波谐振器，其特征在于，包括：

衬底；

依次层叠于衬底上的反射结构、第一电极层、压电层和第二电极层；

框架结构，位于所述第二电极层上，且靠近有源区的边缘，包括：第一子框架结构和第二子框架结构；其中，所述第一子框架结构的内侧轮廓和外侧轮廓中的至少一个包括第一凸出部分，所述第二子框架结构的内侧轮廓和外侧轮廓中的至少一个包括第二凸出部分，所述第二凸出部分和所述第一凸出部分不同。

2.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，所述第一子框架结构的形状包括弧线部分，所述第二子框架结构的形状包括至少两个直线部分；所述弧线部分和所述至少两个直线部分连接形成所述框架结构的形状。

3.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，所述框架结构的形状关于轴对称，所述第一子框架结构位于所述对称轴的一边，所述第二子框架结构位于所述对称轴的另一边。

4.根据权利要求1至3任一项所述的体声波谐振器，其特征在于，

所述第一凸出部分的形状包括n边形或弧形，n为大于或等于3的正整数；

所述第二凸出部分的形状包括m边形或弧形，m为大于或等于3的正整数。

5.根据权利要求1至3任一项所述的体声波谐振器，其特征在于，

所述第一子框架结构的内侧轮廓包括所述第一凸出部分；其中，所述第一子框架结构的内侧轮廓的第一凸出部分的凸出方向由所述有源区的边缘指向所述有源区的中部；

所述第一子框架结构的外侧轮廓包括所述第一凸出部分；其中，所述第一子框架结构的外侧轮廓的第一凸出部分的凸出方向由所述有源区的中部指向所述有源区的边缘。

6.根据权利要求1至3任一项所述的体声波谐振器，其特征在于，

所述第二子框架结构的内侧轮廓包括所述第二凸出部分；其中，所述第二子框架结构的内侧轮廓的第二凸出部分的凸出方向由所述有源区的边缘指向所述有源区的中部；

所述第二子框架结构的外侧轮廓包括所述第二凸出部分；其中，所述第二子框架结构的外侧轮廓的第二凸出部分的凸出方向由所述有源区的中部指向所述有源区的边缘。

7.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，所述第一凸出部分的凸出方向与所述第二凸出部分的凸出方向相同或相反。

8.根据权利要求1至3任一项所述的体声波谐振器，其特征在于，

所述第一凸出部分周期排布，周期数大于等于3；

所述第二凸出部分周期排布，周期数大于等于3。

9.根据权利要求8所述的体声波谐振器，其特征在于，

相邻的两个所述第一凸出部分之间间隔设置；

相邻的两个所述第二凸出部分之间间隔设置。

10.根据权利要求9所述的体声波谐振器，其特征在于，

相邻的两个所述第一凸出部分之间的间距大于1微米；

相邻的两个所述第二凸出部分之间的间距大于1微米。

11.根据权利要求2或3所述的体声波谐振器，其特征在于，

所述框架结构的内侧轮廓包括所述第一凸出部分，所述第一凸出部分的形状包括n边形，n为大于或等于3的正整数；

所述框架结构的外侧轮廓包括所述第二凸出部分，所述第二凸出部分的形状包括m边形，m为大于或等于3的正整数，m和n不同。

12.根据权利要求2或3所述的体声波谐振器，其特征在于，

所述第一子框架结构的内侧轮廓和所述第一子框架结构的外侧轮廓的形状相同，所述第二子框架结构的外侧轮廓的形状的至少一部分不同于所述第二子框架结构的内侧轮廓的形状。