[发明专利]一种主鼓组件及其应用的真空镀膜设备

权利要求书

1.一种主鼓组件，其特征在于：包括圆筒状的双层主鼓(21)，所述双层主鼓(21)由内向外依次设有冷却层(211)、气路层(212)，所述气路层(212)包括多个相互隔绝的空腔(215)，所述空腔(215)的长度方向平行于所述双层主鼓(21)的轴向，所述空腔(215)的至少一端与所述双层主鼓(21)的外侧连通,所述双层主鼓(21)外周面上开设有多个与所述空腔(215)连通的出气孔(213)。

2.根据权利要求1所述的主鼓组件，其特征在于：所述双层主鼓(21)包括冷媒筒(2111)、气路筒(2122)，所述冷却层(211)位于所述冷媒筒(2111)内，所述气路筒(2122)固定套设在所述冷媒筒(2111)的外侧，所述气路筒(2122)与所述冷媒筒(2111)之间连接有多个隔板(2121)，所述空腔(215)由所述隔板(2121)分隔而成。

3.根据权利要求1所述的主鼓组件，其特征在于：环绕所述冷却层(211)的外周壁均匀设置多根通气管(216)，所述空腔(215)为所述通气管(216)的内腔。

4.根据权利要求1所述的主鼓组件，其特征在于：所述双层主鼓(21)外侧设有与所述双层主鼓(21)端面贴合的混气罩(24)，所述混气罩(24)长度方向为弧形且内部中空，所述混气罩(24)与所述主鼓端面贴合的一面沿开有用于连通空腔(215)的进气槽(241)，所述混气罩(24)上开设有与大气连通的通孔(242)，镀膜时所述双层主鼓(21)相对所述混气罩(24)转动。

5.根据权利要求4所述的主鼓组件，其特征在于：所述通孔(242)沿混气罩(24)长度方向均匀布置多个。

6.根据权利要求1所述的主鼓组件，其特征在于：所述双层主鼓(21)同轴穿设有筒状转轴(22)，所述冷却层（211）与所述转轴(22)之间连通有冷媒管(25)，所述冷媒管(25)上设置有阀门（251）。

7.一种应用权利要求1-3、6中任一项所述的主鼓组件的真空镀膜设备，其特征在于：包括镀膜腔室(3)，所述镀膜腔室(3)内转动设置有相互平行放卷辊组(4)、收卷辊组(5)，所述双层主鼓(21)转动连接在所述镀膜腔室(3)内，所述镀膜腔室(3)内还设有镀膜源(7)，所述镀膜源(7)用于对卷绕在所述双层主鼓(21)表面的基材(1)进行镀膜，所述镀膜腔室(3)侧壁开有送气槽(32)，所述送气槽(32)用于向所述双层主鼓(21)卷绕基材(1)范围内的所述空腔(215)通气。

8.一种应用权利要求4或5所述的主鼓组件的真空镀膜设备，其特征在于：包括镀膜腔室(3)，所述镀膜腔室(3)内转动设置有相互平行放卷辊组(4)、收卷辊组(5)，所述双层主鼓(21)转动连接在所述镀膜腔室(3)内，所述镀膜腔室(3)内还设有镀膜源(7)，所述镀膜源(7)用于对卷绕在所述双层主鼓(21)表面的基材(1)进行镀膜，所述镀膜腔室(3)侧壁开有送气孔(31)，所述送气孔(31)用于向所述双层主鼓(21)卷绕基材(1)范围内的所述空腔(215)通气，所述混气罩(24)固定连接在所述镀膜腔室(3)的侧壁。