[发明专利]一种主鼓组件及其应用的真空镀膜设备

说明书

本申请涉及真空卷绕镀膜设备的领域，尤其是涉及一种主鼓组件及其应用的真空镀膜设备。一种主鼓组件，包括双层主鼓，双层主鼓由内向外依次设有冷却层、气路层，气路层包括多个相互隔绝的空腔，空腔的长度方向平行于双层主鼓的轴向，空腔的至少一端与双层主鼓的外侧连通,双层主鼓外周面上开设有多个与空腔连通的出气孔。还涉及一种应用主鼓组件的真空镀膜设备，包括镀膜腔室，镀膜腔室内转动设置有相互平行的双层主鼓、放卷辊组及收卷辊组，镀膜腔室内还设有镀膜源，镀膜腔室侧壁开有多个向空腔通气的送气孔。本申请具有减少气体向镀膜腔室中逸散，降低真空抽气要求，节约能源的效果。

技术领域

本申请涉及真空卷绕镀膜设备的领域，尤其是涉及一种主鼓组件及其应用的真空镀膜设备。

背景技术

真空镀膜设备用于在柔性基材表面通过真空卷绕镀膜技术镀制一层或多层薄膜，按工作原理可分为：蒸发卷绕镀膜、磁控溅射卷绕镀膜及组合式卷绕镀膜。由于上述镀膜方式均会使基材表面产生大量热量，为防止基材由于温度过高而起褶或烧坏，而造成镀膜效果不佳。常常使用具有冷却功能的镀膜鼓在镀膜过程中对基材进行冷却。而真空环境下热传递效率降低，所以采用向基材和镀膜鼓之间通气的方式来加强基材的冷却效率。

现有的可参考公布号为CN111455344A的专利文献，上述专利公开了一种镀膜设备，包括镀膜腔、镀膜鼓和通气组件。基材缠绕镀膜鼓上，通气组件设置在镀膜鼓上，通气组件用于将外部气体导入至镀膜鼓的内部并传输至卷绕在镀膜鼓表面的基材上，从而对基材进行冷却。

然而，由于镀膜鼓上方敞口处未卷绕基材，因此通入的气体容易从此处逸散到真空环境中。而镀膜过程对气压较为敏感，需要加大镀膜腔室的抽气力度才能保证镀膜所需的真空度，因而造成对能源的浪费。

发明内容

为了降低真空抽气要求，减少能源浪费，本申请提供一种主鼓组件及其应用的真空镀膜设备。

第一方面，本申请提供的一种主鼓组件采用如下的技术方案：

一种主鼓组件，包括圆筒状的双层主鼓，所述双层主鼓由内向外依次设有冷却层、气路层，所述气路层包括多个相互隔绝的空腔，所述空腔的长度方向平行于所述双层主鼓的轴向，所述空腔的至少一端与所述双层主鼓的外侧连通,所述双层主鼓外周面上开设有多个与所述空腔连通的出气孔。

通过采用上述技术方案，在使用该主鼓组件对基材进行镀膜及降温时，双层主鼓位于真空的镀膜腔室内，此时将双层主鼓与基材贴合部位的空腔与大气连通，或采用外部气源对双层主鼓与基材贴合部位的空腔进行供气。由于镀膜腔室为真空负压环境，从而能够将外部气体吸入双层主鼓的气路层中，气体穿过出气孔吹到基材表面，能够提高基材与冷却层之间的对流换热效率。由于每个空腔相互隔绝，双层主鼓未与基材贴合部位的空腔无法进气，因此气体不易从未与基材贴合部位的空腔散发至镀膜腔室内，从而降低了真空镀膜腔室的抽气要求，起到减少能源浪费的作用。

可选的，所述双层主鼓包括冷媒筒、气路筒，所述冷却层位于所述冷媒筒内，所述气路筒固定套设在所述冷媒筒的外侧，所述气路筒与所述冷媒筒之间连接有多个隔板，所述空腔由所述隔板分隔而成。

通过采用上述技术方案，在冷媒筒与气路筒之间设置多个隔板来形成多个封闭的空腔，以简便的方式实现了空腔的相互隔绝。

可选的，环绕所述冷却层的外周壁均匀设置多根通气管，所述空腔为所述通气管的内腔。

通过采用上述技术方案，设置多根通气管作为相互隔绝的空腔，加大了双层主鼓的表面积，以便开设更多的送气孔来提高出气效率。

可选的，所述双层主鼓外侧设有与所述双层主鼓端面贴合的混气罩，所述混气罩长度方向为弧形且内部中空，所述混气罩与所述主鼓端面贴合的一面沿开有用于连通空腔的进气槽，所述混气罩上开设有与大气连通的通孔，镀膜时所述双层主鼓相对所述混气罩转动。