[发明专利]干涉信息测量装置及具有其的基板处理系统

说明书

提供了一种利用温度传感器阵列测量关于干涉区域的信息的干涉信息测量装置及具有其的基板处理系统。上述干涉信息测量装置包括：激光传感器，其输出第一激光和第二激光使得所述第一激光和所述第二激光交叉；热敏传感器阵列，其穿过由所述第一激光和所述第二激光交叉而形成的干涉区域；以及控制模块，其基于在所述热敏传感器阵列穿过所述干涉区域时获得的信息来测量所述干涉区域的位置。

技术领域

本发明涉及一种干涉信息测量装置及具有其的基板处理系统。更具体地，本发明涉及一种可应用于在基板上喷射液滴的设备的干涉信息测量装置以及具有其的基板处理系统。

背景技术

为了制造LCD面板、PDP面板、LED面板等显示装置，在透明基板上执行印刷工艺(例如，RGB图案化(RGB Patterning))时，可以使用具有喷墨头单元(Inkjet Head Unit)的印刷装置。

发明内容

解决的技术问题

PDPA(相位多普勒粒子分析仪)装置是一种利用激光测量从喷墨头单元的喷嘴喷射的液滴的体积和速度的装置。PDPA装置可以在液滴穿过利用激光形成的干涉区域(Fringe Region)时测量液滴的体积和速度。

然而，由于液滴的大小和干涉区域的大小都非常小，因此难以将喷嘴的位置调整(或对齐)到使液滴穿过干涉区域。

本发明要解决的技术课题在于，提供一种利用温度传感器阵列测量关于干涉区域的信息的干涉信息测量装置及具有该装置的基板处理系统。

本发明的技术课题不限于上述技术课题，本领域的技术人员可以通过以下记载明确地理解未提及的其他技术课题。

解决方法

为解决上述技术问题，本发明的干涉信息测量装置的一方面包括：激光传感器，其输出第一激光和第二激光使得所述第一激光和所述第二激光交叉；热敏传感器阵列，其穿过由所述第一激光和所述第二激光交叉而形成的干涉区域；以及控制模块，其基于在所述热敏传感器阵列穿过所述干涉区域时获得的信息来测量所述干涉区域的位置。

所述热敏传感器阵列可以包括以恒定间隔布置的多个热敏传感器。

所述控制模块可以基于每个热敏传感器的位置信息和温度信息来测量所述干涉区域的位置。

所述控制模块可以基于相比于其它热敏传感器测量到更高温度的热敏传感器的位置信息来测量所述干涉区域的位置。

干涉信息测量装置还可以包括：第一相机传感器，其拍摄所述热敏传感器阵列，其中，所述控制模块基于通过拍摄所述热敏传感器阵列而获得的信息来识别所述热敏传感器阵列中包括的每个热敏传感器的位置信息。

每当所述热敏传感器阵列移动时，所述控制模块可以实时地识别每个热敏传感器的位置信息。

所述控制模块可以通过移动所述热敏传感器阵列来测量所述干涉区域的位置，或者通过移动所述干涉区域来测量所述干涉区域的位置。

所述控制模块还可以基于在所述热敏传感器阵列穿过所述干涉区域时获得的信息来测量所述干涉区域的大小和所述干涉区域的形状。

在测量所述干涉区域的大小的情况下，所述控制模块可以基于相比于其它热敏传感器测量到更高温度的热敏传感器的大小来估计所述干涉区域的大小。

在测量所述干涉区域的形状的情况下，所述控制模块可以基于相比于其它热敏传感器测量到更高温度的热敏传感器的形状来估计所述干涉区域的形状。

所述控制模块可以基于所述热敏传感器阵列的测量值的变化来判断所述激光传感器是否异常。