[发明专利]磁控管靶联接器和支承设备

权利要求书

1.一种磁控管靶联接器(301)，包括：

·靶联接器法兰(702)，用于联接管形靶；

·轴(808)，所述轴与所述靶联接器法兰(702)刚性联接，并且在与所述靶联接器法兰(702)相对置的端部部段处具有第一线性支承件部件(8081)；

·通信接口(704)，所述通信接口具有相互电耦联的第一通信电极(704a)和第二通信电极(704b)，所述第一通信电极设置在所述第一线性支承件部件(8081)和所述靶联接器法兰(702)之间，

·其中所述靶联接器法兰(702)与所述第二通信电极(704b)刚性联接，并且设置在所述第一通信电极(704a)和所述第二通信电极(704b)之间；

·其中所述第一通信电极(704a)被支承，使得所述第一通信电极能够朝向所述第二通信电极(704b)位移和/或远离所述第二通信电极位移。

2.根据权利要求1所述的磁控管靶联接器(301)，

·其中所述第一通信电极(704a)和/或所述第二通信电极(704b)具有板和/或被封装。

3.根据权利要求1或2所述的磁控管靶联接器(301)，还包括：

·弹簧弹性元件(714f)，所述弹簧弹性元件将所述第一通信电极(704a)和所述第二通信电极(704b)彼此联接，使得所述第一通信电极(704a)能够克服所述弹簧弹性元件的恢复力朝向所述第二通信电极(704b)位移。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的磁控管靶联接器(301)，其中所述第一通信电极(704a)能够朝向所述第二通信电极(704b)位移的路段是所述线性支承件部件(8081)平行于所述路段的扩展的至少50％。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的磁控管靶联接器(301)，其中所述线性支承件部件(8081)具有转矩支柱。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的磁控管靶联接器(301)，其中所述第一通信电极(704a)具有留空部，所述轴(808)延伸穿过所述留空部。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的磁控管靶联接器(301)，其中所述通信接口(704)与所述靶联接器法兰(702)和/或所述轴(808)电隔离。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的磁控管靶联接器(301)，还包括：

线性支承件，借助所述线性支承件以能位移的方式支承所述第一通信电极(704a)。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的磁控管靶联接器(301)，其中所述第二通信电极(704b)具有贯通开口，所述贯通开口露出用于安装磁体系统的安装结构，所述安装结构以相对于所述轴(808)能转动的方式支承。

10.一种支承设备(350)，包括：

·框架(912)；

·根据权利要求1至9中任一项所述的磁控管靶联接器(301)；

·借助于所述框架(912)承载的转动支承件(950)和第二线性支承件部件(8181)，所述第二线性支承件部件借助于所述转动支承件(950)能转动地支承，并且所述第二线性支承件部件设计用于：以与所述磁控管靶联接器(301)的所述第一线性支承件部件(808l)拼接在一起的方式形成线性支承件，使得为所述磁控管靶联接器(301)提供沿着所述转动支承件的转动轴线(808a)的平移自由度；

·第三通信电极(904)，所述第三通信电极设置成，使得当形成所述线性支承件时，所述第三通信电极朝向所述磁控管靶联接器(301)的所述第一通信电极，其中所述第三通信电极(904)优选地与所述框架(912)刚性联接。

11.一种支承设备(350)，包括：

·框架(912)；

·磁控管靶联接器(301)，

所述磁控管靶联接器(301)具有：

·用于联接管形靶的靶联接器法兰(702)；

·轴(808)，所述轴与所述靶联接器法兰(702)刚性联接，并且在与所述靶联接器法兰(702)相对置的端部部段处具有第一线性支承件部件(8081)；

·通信接口(704)，所述通信接口具有设置在所述第一线性支承件部件(808l)和所述靶联接器法兰(702)之间的通信电极(704a)；

所述支承设备(350)还包括：

·借助于所述框架(912)承载的转动支承件(950)和第二线性支承件部件(8181)，所述第二线性支承件部件借助于所述转动支承件(950)能转动地支承，并且所述第二线性支承件部件设计用于：以与所述磁控管靶联接器(301)的所述第一线性支承件部件(8081)拼接在一起的方式形成线性支承件，使得为所述磁控管靶联接器(301)提供沿着所述转动支承件的转动轴线(808a)的平移自由度；

·附加的通信电极(904)，所述附加的通信电极设置成，使得当形成所述线性支承件时，所述附加的通信电极朝向所述磁控管靶联接器(301)的所述通信电极并且以距所述通信电极一定间距设置；

·其中所述通信电极(704a)和/或所述附加的通信电极(904)被支承，使得当所述磁控管靶联接器(301)根据所述平移自由度相对于所述框架(912)位移一定路段时，所述间距的变化小于所述路段。