[发明专利]一种金属氧氮化物薄膜清洗干燥装置

权利要求书

1.一种金属氧氮化物薄膜清洗干燥装置，包括箱体（1）、清洗机构（2）和干燥机构（3），其特征在于：所述清洗机构（2）设置在箱体（1）的内部，所述箱体（1）的右侧设置有干燥架（10），所述干燥机构（3）设置在干燥架（10）上，所述箱体（1）的内部固定连接有隔板（14），所述隔板（4）的上表面固定安装有导向辊（15）；

所述清洗机构（2）包括伺服电机（201）和主动轮（202），所述主动轮（202）固定安装在伺服电机（201）的输出端，所述伺服电机（201）的输出端固定安装有第一海绵辊（203），所述第一海绵辊（203）的前端固定安装有第一齿轮（204），所述第一齿轮（204）的上端啮合有第二齿轮（205），所述第二齿轮（205）上固定安装有第二海绵辊（206），所述主动轮（202）上传动连接有皮带（209）；

干燥机构（3）包括热风机（301）和输送管（302），所述输送管（302）固定安装在热风机（301）的输出端上，所述输送管（302）的另一端固定安装有第一吹风罩（303），所述输送管（302）上连接有连接管（305），所述连接管（305）的另一端固定安装有第二吹风罩（306）。

2.根据权利要求1所述的一种金属氧氮化物薄膜清洗干燥装置，其特征在于：所述皮带（209）的另一端传动连接有从动轮（207），所述从动轮（207）的上固定安装有第三海绵辊（208），所述第一海绵辊（203）、第二海绵辊（206）和第三海绵辊（208）设置在箱体（1）的内部。

3.根据权利要求1所述的一种金属氧氮化物薄膜清洗干燥装置，其特征在于：所述第一吹风罩（303）的出风口固定安装有孔板（304），所述箱体（1）的右壁固定安装有支撑台（9），所述干燥架（10）固定安装在支撑台（9）的上表面。

4.根据权利要求1所述的一种金属氧氮化物薄膜清洗干燥装置，其特征在于：所述热风机（301）固定安装在干燥架（10）的上表面，所述第一吹风罩（303）固定安装在干燥架（10）的内部，所述第二吹风罩（306）固定安装在干燥架（10）的内部。

5.根据权利要求1所述的一种金属氧氮化物薄膜清洗干燥装置，其特征在于：所述箱体（1）的底部固定安装有支撑脚（13），所述箱体（1）的背面开设有排水口，所述箱体（1）的正面固定安装有支撑板（6），所述伺服电机（201）固定安装在支撑板（6）的上表面。

6.根据权利要求1所述的一种金属氧氮化物薄膜清洗干燥装置，其特征在于：所述箱体（1）的内壁固定安装有固定架（7），所述固定架（7）的内部转动连接有导辊（8），所述导辊（8）的数量为两个，其两个所述导辊（8）分别设置在箱体（1）的内部左壁上端和内部右壁上端，所述导辊（8）上设置有薄膜（5）。

7.根据权利要求1所述的一种金属氧氮化物薄膜清洗干燥装置，其特征在于：所述箱体（1）的正面固定安装有防护框（11），所述防护框（11）的正面固定安装有盖板（12）。

8.根据权利要求1所述的一种金属氧氮化物薄膜清洗干燥装置，其特征在于：所述箱体（1）的内部设置有冲洗机构（4），所述冲洗机构（4）包括喷水管（401），所述喷水管（401）的形状为矩形，所述喷水管（401）管壁上设置有喷头（402），所述喷水管（401）上设置有连接口（403）。