[发明专利]一种新型的流量检测结构在审

专利信息
申请号: 202211308604.3 申请日: 2022-10-25
公开(公告)号: CN115824325A 公开(公告)日: 2023-03-21
发明(设计)人: 张昭 申请(专利权)人: 托伦斯半导体设备启东有限公司
主分类号: G01F1/34 分类号: G01F1/34;G01L13/00
代理公司: 合肥市博念易创专利代理事务所(普通合伙) 34262 代理人: 尚秘
地址: 226200 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 新型 流量 检测 结构
【权利要求书】:

1.一种新型的流量检测结构,其特征在于:包括安装座(1)和工作台(2),所述工作台(2)位于所述安装座(1)的一侧,所述安装座(1)的上方设有压力表(3),所述安装座(1)的侧壁分别设有气压阀门(4)、降压阀(5)和出气接头(6),所述降压阀(5)设置在所述气压阀门(4)和所述出气接头(6)之间并通过第一连接管(7)连通设置,所述压力表(3)接通设置在所述出气接头(6)与所述降压阀(5)之间的第一连接管(7)上,所述工作台(2)上通过夹持机构可拆卸设有待测工件(8),所述工作台(2)靠近所述安装座(1)的一侧设有进气接头(9),所述进气接头(9)的一端通过第二连接管(10)与所述出气接头(6)连通设置,所述进气接头(9)的另一端延伸至所述工作台(2)内侧并与所述待测工件(8)上流道的一端连通设置,所述工作台(2)的侧壁上设有多个出气管(11),所述出气管(11)的内端与所述待测工件(8)的流道另一端连通设置,所述出气管(11)的外端延伸出所述工作台(2)的外侧并连通设有流量计(12)。

2.根据权利要求1所述的一种新型的流量检测结构,其特征在于:所述降压阀(5)的进气端和输出端分别通过第一连接管(7)与气压阀门(4)和压力表(3)连通设置,所述第一连接管(7)设置在所述安装座(1)内部。

3.根据权利要求1所述的一种新型的流量检测结构,其特征在于:所述出气接头(6)与所述第二连接管(10)和第一连接管(7)的安装结构相同,所述出气接头(6)的端面设有螺纹管(13),所述螺纹管(13)上开设有侧槽,所述螺纹管(13)的外侧螺纹设有第一螺母(14),所述第一连接管(7)的一端贯穿所述螺纹管(13)并设置在所述出气接头(6)的内部,所述第一连接管(7)与所述螺纹管(13)之间设有密封垫(15)。

4.根据权利要求3所述的一种新型的流量检测结构,其特征在于:所述安装座(1)位于所述出气接头(6)下方的侧壁上设有支撑托(16),所述支撑托(16)的上方与所述出气接头(6)的下方适配。

5.根据权利要求1所述的一种新型的流量检测结构,其特征在于:所述夹持机构为限位轴(17)和限位板(18),所述工作台(2)的中心位置处设有用于放置待测工件(8)的放置槽,所述放置槽内设有与所述待测工件(8)适配的限位轴(17),所述待测工件(8)和所述限位板(18)穿设在限位轴(17)上,所述限位轴(17)的上端延伸出所述待测工件(8)和所述限位板(18)的上方并通过第二螺母(19)装配连接。

6.根据权利要求1所述的一种新型的流量检测结构,其特征在于:所述进气接头(9)与待测工件(8)和出气管(11)与所述待测工件(8)的连通结构相同,所述进气接头(9)延伸至所述工作台(2)内侧的一端连通设有折叠管(20),所述折叠管(20)的一端外侧设有固定环(21),所述固定环(21)的外侧设有密封圈(22),所述折叠管(20)两侧的所述工作台(2)内侧对称设有气缸(23),所述气缸(23)的一端与所述固定环(21)装配连接。

7.根据权利要求1所述的一种新型的流量检测结构,其特征在于:所述第一连接管(7)、第二连接管(10)、降压阀(5)、气压阀门(4)、出气接头(6)个进气接头(9)的通气直径均大于所述待测工件(8)内的流道直径。

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