[发明专利]一种新型的流量检测结构在审

专利信息
申请号: 202211308604.3 申请日: 2022-10-25
公开(公告)号: CN115824325A 公开(公告)日: 2023-03-21
发明(设计)人: 张昭 申请(专利权)人: 托伦斯半导体设备启东有限公司
主分类号: G01F1/34 分类号: G01F1/34;G01L13/00
代理公司: 合肥市博念易创专利代理事务所(普通合伙) 34262 代理人: 尚秘
地址: 226200 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 新型 流量 检测 结构
【说明书】:

发明公开了一种新型的流量检测结构,本发明涉及流量检测结构技术领域,包括安装座和工作台,所述工作台位于所述安装座的一侧,所述安装座的上方设有压力表,所述安装座的侧壁分别设有气压阀门、降压阀和出气接头,所述降压阀设置在所述气压阀门和所述出气接头之间并通过第一连接管连通设置,所述压力表接通设置在所述出气接头与所述降压阀之间的第一连接管上,该新型的流量检测结构将气流通过气压阀门、降压阀、压力表和进气接头进入待测工件的流道内,并从流道另一端连通设置的出气管排出,通过出气管上设置的流量计显示的数据观察判断该流道内的压力数据是否有变化,便于工作人员可直观进行判断,操作简单,使用便捷。

技术领域

本发明涉及流量检测结构,具体涉及一种新型的流量检测结构。

背景技术

在半导体行业中,存在很多封闭式流道较小的钎焊类零件,在钎焊高温的情况下,钎焊使用的焊料会发生流淌现象,部分焊料会流进流道内,从而导致流道变小的情况;

但现有技术中,在以往流道检测过程中,只是使用气枪对流道进出口进行吹气检测,不能做到统一稳定压力源,对流量不能实施数字量化,存在很多模糊概念。

发明内容

针对现有技术的不足,本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:一种新型的流量检测结构,包括安装座和工作台,所述工作台位于所述安装座的一侧,所述安装座的上方设有压力表,所述安装座的侧壁分别设有气压阀门、降压阀和出气接头,所述降压阀设置在所述气压阀门和所述出气接头之间并通过第一连接管连通设置,所述压力表接通设置在所述出气接头与所述降压阀之间的第一连接管上,所述工作台上通过夹持机构可拆卸设有待测工件,所述工作台靠近所述安装座的一侧设有进气接头,所述进气接头的一端通过第二连接管与所述出气接头连通设置,所述进气接头的另一端延伸至所述工作台内侧并与所述待测工件上流道的一端连通设置,所述工作台的侧壁上设有多个出气管,所述出气管的内端与所述待测工件的流道另一端连通设置,所述出气管的外端延伸出所述工作台的外侧并连通设有流量计。

优选的,所述降压阀的进气端和输出端分别通过第一连接管与气压阀门和压力表连通设置,所述第一连接管设置在所述安装座内部,通过将第一连接管设置在安装座的内部,便于对第一连接管的归纳和稳定,保证了安装座的整洁。

优选的,所述出气接头与所述第二连接管和第一连接管的安装结构相同,所述出气接头的端面设有螺纹管,所述螺纹管上开设有侧槽,所述螺纹管的外侧螺纹设有第一螺母,所述第一连接管的一端贯穿所述螺纹管并设置在所述出气接头的内部,所述第一连接管与所述螺纹管之间设有密封垫对出气接头与第一连接管进行装配时,将密封垫套设在第一连接管的外侧,并将设有密封垫的第一连接管一端设置在出气接头内,使得密封垫留在螺纹管与第一连接管之间,进而转动第一螺母,第一螺母在螺纹管上进行移动,由于螺纹管上设有侧槽,随着第一螺母的转动,螺纹管更加收紧,从而实现螺纹管与第一连接管之间的夹紧密封操作,同样,第二连接管与出气接头之间的装配如上述步骤。

优选的,所述安装座位于所述出气接头下方的侧壁上设有支撑托,所述支撑托的上方与所述出气接头的下方适配通过设置的支撑托,便于对与第一连接管一端连通设置的出气接头进行支撑操作,有效保证了出气接头安装的稳定性。

优选的,所述夹持机构为限位轴和限位板,所述工作台的中心位置处设有用于放置待测工件的放置槽,所述放置槽内设有与所述待测工件适配的限位轴,所述待测工件和所述限位板穿设在限位轴上,所述限位轴的上端延伸出所述待测工件和所述限位板的上方并通过第二螺母装配连接通过限位轴与第二螺母的配合,实现对待测工件再工作台上的稳定限位操作。

优选的,所述进气接头与待测工件和出气管与所述待测工件的连通结构相同,所述进气接头延伸至所述工作台内侧的一端连通设有折叠管,所述折叠管的一端外侧设有固定环,所述固定环的外侧设有密封圈,所述折叠管两侧的所述工作台内侧对称设有气缸,所述气缸的一端与所述固定环装配连接对进气接头与待测工件的流道一端进行连通设置时,通过伸长气缸,带动折叠管伸长,使得固定环贴近待测工件,通过设置的密封圈,保证了固定环与待测工件之间的密封性。

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